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1. (WO2016091983) METHOD FOR DETERMINING THE THICKNESS OF A THIN LAYER BY MULTI-WAVELENGTH INTERFEROMETRY AND CORRESPONDING COMPUTER PROGRAM PACKAGE, STORAGE MEANS AND SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/091983    International Application No.:    PCT/EP2015/079178
Publication Date: 16.06.2016 International Filing Date: 09.12.2015
IPC:
G01B 11/06 (2006.01)
Applicants: UNIVERSITE DU MAINE [FR/FR]; Avenue Olivier Messiaen 72085 Le Mans Cedex 9 (FR).
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE [FR/FR]; 3, rue Michel Ange 75794 Paris Cédex 16 (FR).
UNIVERSIDAD NACIONAL DE COLOMBIA [CO/CO]; Calle 59A, N°63 20, Medellin Colombia Nucleo El Volador Medellin (CO)
Inventors: PICART, Pascal; (FR).
MALEK, Mokrane; (FR).
GARCIA-SUCERQUIA, Jorge; (CO)
Agent: GUENE, Patrick; (FR)
Priority Data:
1462287 11.12.2014 FR
Title (EN) METHOD FOR DETERMINING THE THICKNESS OF A THIN LAYER BY MULTI-WAVELENGTH INTERFEROMETRY AND CORRESPONDING COMPUTER PROGRAM PACKAGE, STORAGE MEANS AND SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE L'ÉPAISSEUR D'UNE COUCHE MINCE PAR INTERFÉROMÉTRIE MULTI-LONGUEUR D'ONDE, PRODUIT PROGRAMME D'ORDINATEUR, MOYEN DE STOCKAGE ET SYSTÈME CORRESPONDANTS
Abstract: front page image
(EN)A method and system are provided for determining the thickness of a thin layer deposited on the surface of a reflective substrate, by means of a multi-wavelength device in a configuration equivalent to a Michelson interferometer. The method consists in: generating (20) an array of collimated light beams intended to illuminate the surface of the thin layer and that of the planar mirror, each beam having a distinct wavelength; occulting (21) the measurement arms, preventing the collimated light beams from being received by the object to be measured, and obtaining (22) a reference image representative of the light intensity issued from the planar mirror; occulting (23) the reference arm, preventing the collimated light beams from being received by the planar mirror, and obtaining (24) a measurement image representative of the light intensity issued from the object to be measured; and determining (25) the thickness of the thin layer from the measurement and reference images obtained.
(FR)Il est proposé un procédé et un système de détermination de l'épaisseur d'une couche mince disposée sur la surface d'un substrat réfléchissant, au moyen d'un dispositif multi-longueur d'onde en configuration équivalente à un interféromètre Michelson. Le procédé consiste à : générer (20) un ensemble de faisceaux lumineux collimatés destinés à illuminer la surface de la couche mince et celle du miroir plan, chaque faisceau ayant une longueur d'onde distincte; occulter (21) le bras de mesure empêchant les faisceaux lumineux collimatés d'être reçu par l'objet à mesurer et obtenir (22) une image de référence représentative de l'intensité lumineuse issue du miroir plan; occulter (23) le bras de référence empêchant les faisceaux lumineux collimatés d'être reçu par le miroir plan, et obtenir (24) une image de mesure représentative de l'intensité lumineuse issue de l'objet à mesurer; déterminer (25) l'épaisseur de la couche mince à partir des images de référence et de mesure obtenues.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)