WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2016091534) METHOD AND APPARATUS FOR IMAGE ANALYSIS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/091534    International Application No.:    PCT/EP2015/076540
Publication Date: 16.06.2016 International Filing Date: 13.11.2015
IPC:
G06T 7/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: MIDDLEBROOKS, Scott, Anderson; (NL).
VAN KRAAIJ, Markus, Gerardus, Martinus, Maria; (NL).
KOOPMAN, Adrianus, Cornelis, Matheus; (NL).
HUNSCHE, Stefan; (US).
COENE, Willem, Marie, Julia, Marcel; (NL)
Agent: PETERS, John; (NL)
Priority Data:
62/089,692 09.12.2014 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR IMAGE ANALYSIS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL D'ANALYSE D'IMAGES
Abstract: front page image
(EN)A method and apparatus of detection, registration and quantification of an image is described. The method may include obtaining an image of a lithographically created structure, and applying a level set method to an object, representing the structure, of the image to create a mathematical representation of the structure. The method may include obtaining a first dataset representative of a reference image object of a structure at a nominal condition of a parameter, and obtaining second dataset representative of a template image object of the structure at a non- nominal condition of the parameter. The method may further include obtaining a deformation field representative of changes between the first dataset and the second dataset. The deformation field may be generated by transforming the second dataset to project the template image object onto the reference image object. A dependence relationship between the deformation field and change in the parameter may be obtained.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un appareil de détection, d'enregistrement et de quantification d'une image. Le procédé peut comprendre l'obtention d'une image d'une structure créée par lithographie et l'application d'un procédé de réglage de niveau à un objet de l'image, représentatif de la structure, afin de créer une représentation mathématique de la structure. Le procédé peut comprendre l'obtention d'un premier ensemble de données représentatif d'un objet d'image de référence pour une structure à une condition nominale d'un paramètre; et l'obtention d'un second ensemble de données représentatif d'un objet d'image-modèle pour la structure à une condition non nominale du paramètre. Le procédé peut comprendre en outre l'obtention d'un champ de déformation représentant des changements entre le premier ensemble de données et le second ensemble de données. Le champ de déformation peut être généré par une transformation du second ensemble de données afin de projeter l'objet d'image-modèle sur l'objet d'image de référence. Une relation de dépendance entre le champ de déformation et le changement du paramètre peut être obtenue.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)