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1. (WO2016090913) ONLINE CHEMICAL LIQUID HEATING CONTROL SYSTEM AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/090913    International Application No.:    PCT/CN2015/083726
Publication Date: 16.06.2016 International Filing Date: 10.07.2015
IPC:
G05B 19/05 (2006.01)
Applicants: BEIJING SEVENSTAR ELECTRONIC CO., LTD. [CN/CN]; 2 Floor, M2 Building, No.1 East Jiuxianqiao Road, Chaoyang District Beijing 100016 (CN)
Inventors: MA, Jia; (CN).
LI, Man; (CN)
Agent: SHANGHAI TIANCHEN INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 3302 Tower 1, No. 388 Zhongjiang Road, Putuo Shanghai 200062 (CN)
Priority Data:
201410749104.2 09.12.2014 CN
Title (EN) ONLINE CHEMICAL LIQUID HEATING CONTROL SYSTEM AND METHOD
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE CHAUFFAGE DE LIQUIDES CHIMIQUES EN PRODUCTION
(ZH) 一种化学液在线加热控制系统及控制方法
Abstract: front page image
(EN)Disclosed are an online chemical liquid heating control system and method. According to a set temperature, by using the temperature of a heating element of a first heater (4) of a main pipeline (3) as an inner loop feedback value, the temperature of a chemical liquid at an outlet of the main pipeline (3) as an outer loop feedback value and the pressure at a chemical liquid inlet of an inlet pipeline (1) as a feed-forward value, the heating power of the first heater (4) is output, and the chemical liquid at the outlet of the main pipeline (3) is heated to the set temperature under control; and by using the temperatures of the chemical liquids at outlets of various branches (7) as feedback values, the heating powers of second heaters (8) of the various branches (7) are output respectively, and the chemical liquids at the outlets of the various branches (7) are heated under online control to target cleaning temperatures of the respective processing chamber. The influence of pipeline pressure and flow fluctuation on the temperature of the chemical liquid at the outlet of the main pipeline (3) can be effectively reduced, the uniform stability of the temperatures of the chemical liquids entering the plurality of processing chambers is ensured, the accuracy in temperature control for the chemical liquids is improved, and the time for temperature adjustment is shortened.
(FR)L'invention concerne un système et un procédé de régulation de chauffage de liquides chimiques en production. En fonction d'une température de consigne, en utilisant la température d'un élément chauffant d'un premier réchauffeur (4) d'une conduite principale (3) en tant que valeur de rétroaction de boucle intérieure, la température d'un liquide chimique à une sortie de la conduite principale (3) en tant que valeur de rétroaction de boucle extérieure et la pression à une entrée de liquide chimique d'une conduite (1) d'entrée en tant que valeur d'action directe, la puissance de chauffe du premier réchauffeur (4) est délivrée, et le liquide chimique à la sortie de la conduite principale (3) est chauffé jusqu'à la température de consigne sous contrôle; et en utilisant les températures des liquides chimiques aux sorties de diverses branches (7) en tant que valeurs de rétroaction, les puissances de chauffe de deuxièmes réchauffeurs (8) des diverses branches (7) sont respectivement délivrées, et les liquides chimiques aux sorties des diverses branches (7) sont chauffés sous contrôle en production jusqu'à des températures de nettoyage visées de la chambre de traitement considérée. L'influence de la pression dans les conduites et de la fluctuation du débit sur la température du liquide chimique à la sortie de la conduite principale (3) peut être efficacement réduite, la stabilité uniforme des températures des liquides chimiques entrant dans la pluralité de chambres de traitement est assurée, la précision de la régulation de température pour les liquides chimiques est améliorée, et le temps d'adaptation des températures est raccourci.
(ZH)一种化学液在线加热控制系统及控制方法,根据设定温度,通过以主管路(3)的第一加热器(4)的加热元件温度为内环反馈值,以主管路(3)的出口的化学液温度为外环反馈值,以入口管路(1)的化学液入口压力为前馈值,输出第一加热器(4)的加热功率,控制将主管路(3)的出口的化学液温度加热至设定温度;并通过以各支路(7)的出口的化学液温度为反馈值,分别输出各支路(7)的第二加热器(8)的加热功率,在线控制将各支路(7)的出口的化学液温度加热至各自工艺腔室的清洗目标温度,可有效减小管路压力和流量的波动对主管路(3)的出口化学液温度的影响,保证进入多工艺腔室的化学液温度的一致稳定性,提高化学液的控温精度,缩短温度调节时间。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)