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1. (WO2016090398) ELECTRON MICROSCOPE AND METHOD FOR EXAMINING A SAMPLE USING AN ELECTRON MICROSCOPE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/090398    International Application No.:    PCT/AT2015/050309
Publication Date: 16.06.2016 International Filing Date: 09.12.2015
IPC:
H01J 37/18 (2006.01)
Applicants: VEREIN ZUR FÖRDERUNG DER ELEKTRONENMIKROSKOPIE UND FEINSTRUKTURFORSCHUNG [AT/AT]; Steyrergasse 17 8010 Graz (AT)
Inventors: RATTENBERGER, Johannes; (AT).
FITZEK, Harald Matthias; (AT).
WAGNER, Julian; (AT).
SCHRÖTTNER, Hartmuth; (AT)
Agent: WIRNSBERGER, Gernot; (AT)
Priority Data:
A 50897/2014 10.12.2014 AT
Title (DE) ELEKTRONENMIKROSKOP UND VERFAHREN ZUM UNTERSUCHEN EINER PROBE MIT EINEM ELEKTRONENMIKROSKOP
(EN) ELECTRON MICROSCOPE AND METHOD FOR EXAMINING A SAMPLE USING AN ELECTRON MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE ET PROCÉDÉ POUR EXAMINER UN ÉCHANTILLON À L'AIDE D'UN MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Elektronenmikroskop (1), umfassend eine Elektronenquelle (2) zum Erzeugen eines Elektronenstrahls (3), eine Elektronensäule (4), durch welche der Elektronenstrahl (3) auf eine in einer Probenkammer (5) auf einem Probentisch (6) angeordnete Probe (7) trifft, zumindest eine endseitig an der Elektronensäule (4) angeordnete druckbegrenzende Blende (8) und einen Detektor (9) zum Detektieren von von der Probe (7) erzeugten niederenergetischen Elektronen (10). Erfindungsgemäß ist dabei vorgesehen, dass die Elektronensäule (4) entlang deren Längsachse (X) mit konstantem oder sich zur Probenkammer (5) hin verjüngendem freien Durchmesser (11) und relativ zum Probentisch (6) sowie unabhängig vom Detektor (9) verfahrbar ausgebildet ist, sodass die Probe (7) unter Atmosphärendruck und/oder bei Raumtemperatur untersuchbar ist. Weiter betrifft die Erfindung die Verwendung eines solchen Elektronenmikroskops (1). Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Untersuchen einer Probe (7) mit einem Elektronenmikroskop (1), wobei von einer Elektronenquelle (2) ein Elektronenstrahl (3) erzeugt wird, welcher durch eine Elektronensäule (4) und zumindest eine druckbegrenzende Blende (8) auf die in einer Probenkammer (5) an einem Probentisch (6) angeordnete Probe (7) geleitet wird, von welcher niederenrgetische Elektronen (10) erzeugt und von einem Detektor (9) detektiert werden.
(EN)The invention relates to an electron microscope (1) comprising an electron source (2) for generating an electron beam (3), an electron column (4) through which the electron beam (3) strikes a sample (7) arranged on a sample table (6) in a sample chamber (5), at least one pressure-limiting aperture (8) arranged on an end side on the electron column (4), and a detector (9) for detecting low-energy electrons (10) generated from the sample (7). According to the invention, the electron column (4) has a clear diameter (11) which is either constant along the longitudinal axis (X) or tapers toward the sample chamber (5) and is designed to be moveable relative to the sample table (6) and independent from the detector (9) such that the sample (7) can be examined under atmospheric pressure and/or at room temperature. The invention additionally relates to a use of such an electron microscope (1). The invention further relates to a method for examining a sample (7) using an electron microscope (1), wherein an electron beam (3) is generated by an electron source (2), which is guided through an electron column (4) and at least one pressure-limiting aperture (8) to the sample (7) arranged on a sample table (6) in a sample chamber (5), from which low-energy electrons are created and detected by a detector (9).
(FR)L'invention concerne un microscope électronique (1) qui comprend une source d'électrons (2) destinée à générer un faisceau d'électrons (3), une colonne d'électrons (4) à travers laquelle le faisceau d'électrons (3) est incident à un échantillon (7) disposé sur une table d'échantillon (6) dans une chambre d'échantillon (5), au moins une ouverture de limitation de pression (8) disposée du côté extrémité de la colonne d'électrons (4) et un détecteur (9) destiné à détecter des électrons de faible énergie (10) produits par l'échantillon (7). Selon l'invention, la colonne d’électrons (4) est configurée le long de son axe longitudinal (X) avec un diamètre libre (11) constant ou qui se réduit en direction de la chambre d'échantillon (5) et pour être mobile par rapport à la table d'échantillon (6) et indépendamment du détecteur (9) de telle sorte que l'échantillon (7) peut être examiné sous pression atmosphérique et/ou à la température ambiante. En outre, l'invention concerne l'utilisation d'un tel microscope électronique (1). En outre, l'invention concerne un procédé d’examen un échantillon (7) à l'aide d'un microscope électronique (1). Une source d'électrons (2) génère un faisceau d'électrons (3) qui est dirigé par une colonne d'électrons (4) et au moins une ouverture de limitation de pression (8) sur l'échantillon (7) qui est disposé sur une table d'échantillon (6) dans une chambre d'échantillon (5) et génère des électrons de faible énergie (10) qui sont détectés par un détecteur (9).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)