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1. (WO2016090011) SYSTEMS AND APPARATUS HAVING TOP PORT INTEGRATED BACK CAVITY MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONES AND METHODS OF FABRICATION OF THE SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/090011    International Application No.:    PCT/US2015/063460
Publication Date: 09.06.2016 International Filing Date: 02.12.2015
IPC:
H04R 19/00 (2006.01)
Applicants: INVENSENSE, INC. [US/US]; 1745 Technology Drive, Suite 200 San Jose, California 95110 (US)
Inventors: LIU, Fang; (US).
LIM, Martin; (US)
Agent: JOSHI, Vinay; (US)
Priority Data:
14/558,911 03.12.2014 US
Title (EN) SYSTEMS AND APPARATUS HAVING TOP PORT INTEGRATED BACK CAVITY MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MICROPHONES AND METHODS OF FABRICATION OF THE SAME
(FR) SYSTÈMES ET APPAREIL AYANT UN SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE À CAVITÉ ARRIÈRE INTÉGRÉE DANS UN PORT SUPÉRIEUR ET LEURS PROCÉDÉS DE FABRICATION
Abstract: front page image
(EN)A micro electro-mechanical system (MEMS) device is provided. The MEMS device includes: a first substrate having a first surface and a second surface, and a port disposed through the first substrate, wherein the port is configured to receive acoustic waves and wherein the first surface is exposed to an environment outside the MEMS device; and a diaphragm coupled to and facing the second surface and configured to deflect in response to pressure differential at the diaphragm in response to the received acoustic waves. The MEMS device also includes a second substrate coupled to and facing the diaphragm, and including circuitry, wherein the second substrate includes a recess region forming an integrated back cavity in the MEMS device. The MEMS device also includes an electrical connection electrically coupling the first substrate and the second substrate and configured to transmit an electrical signal indicative of the deflection of the diaphragm.
(FR)L’invention concerne un dispositif de système micro-électromécanique (MEMS). Le dispositif MEMS comprend : un premier substrat ayant une première surface et une seconde surface, et un port disposé à travers le premier substrat, le port étant configuré pour recevoir des ondes acoustiques et la première surface étant exposée à un environnement à l’extérieur du dispositif MEMS ; et une membrane couplée à la seconde surface et tournée vers cette dernière et configurée pour dévier en réponse à un différentiel de pression au niveau de la membrane en réponse aux ondes acoustiques reçues. Le dispositif de MEMS comprend également un second substrat couplé à la membrane et tourné vers cette dernière, et comprenant une circuiterie, le second substrat comprenant une région de renfoncement formant une cavité arrière intégrée dans le dispositif de MEMS. Le dispositif de MEMS comprend également une connexion électrique couplant électriquement le premier substrat et le second substrat et configurée pour émettre un signal électrique indicatif de la déviation de la membrane.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)