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1. (WO2016088845) INTERLAYER THERMALLY BONDABLE GRAPHITE SHEET FOR HIGH VACUUM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/088845    International Application No.:    PCT/JP2015/084041
Publication Date: 09.06.2016 International Filing Date: 03.12.2015
IPC:
C01B 31/04 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01), G21K 5/08 (2006.01), H05H 6/00 (2006.01)
Applicants: KANEKA CORPORATION [JP/JP]; 2-3-18, Nakanoshima, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5308288 (JP)
Inventors: MURAKAMI, Mutsuaki; (JP).
TACHIBANA, Masamitsu; (JP).
TATAMI, Atsushi; (JP)
Agent: UEKI, Kyuichi; (JP)
Priority Data:
2014-246129 04.12.2014 JP
Title (EN) INTERLAYER THERMALLY BONDABLE GRAPHITE SHEET FOR HIGH VACUUM
(FR) GRAPHÈNE INTERCOUCHE POUVANT ÊTRE COLLÉ THERMIQUEMENT POUR VIDE POUSSÉ
(JA) 高真空用層間熱接合性グラファイトシート
Abstract: front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide a material that, as an interlayer thermally bonding material, has excellent thermal conductivity properties even under high vacuum conditions, without risks of contaminating the interiors of devices or outgassing. The key features of the interlayer thermally bondable graphite sheet for high vacuum according to the present invention reside in having a thickness of 50 nm to 9.6 μm and a thermal conductivity of at least 1000 W/mK in the a-b plane direction at 25 °C. In the present invention, the density is preferably at least 1.8 g/cm3. The graphite sheet according to the present invention is preferably obtained by thermally treating a polymer film at a temperature of at least 2900 °C. The polymer film is preferably at least one selected from among polyamides, polyimides, polyquinoxalines, polyoxadiazoles and polybenzimidazoles.
(FR)L'objet de la présente invention est de fournir un matériau qui, en tant que matériau intercouche pouvant être collé thermiquement, présente d'excellentes propriétés de conductivité thermique même dans des conditions de vide poussé, sans risques de contaminer l'intérieur de dispositifs ou de libérer un gaz. Les caractéristiques clé du graphène intercouche pouvant être collé thermiquement pour vide poussé selon la présente invention résident en ce qu'il possède une épaisseur de 50 nm à 9,6 µm et une conductivité thermique d'au moins 1 000 W/mK dans la direction du plan a-b à 25 °C. Dans la présente invention, la masse volumique est de préférence d'au moins 1,8 g/cm3. Le graphène selon la présente invention est de préférence obtenu par traitement thermique d'un film polymère à une température d'au moins 2 900 °C. Le film polymère est de préférence au moins un élément choisi parmi des polyamides, des polyimides, des polyquinoxalines, des polyoxadiazoles et des polybenzimidazoles.
(JA) 高真空条件下においても層間熱接合材として熱伝導特性に優れており、かつ装置内部の汚染やアウトガスの心配のない材料を提供することを目的とする。本発明の高真空用層間熱接合性グラファイトシートは、厚さが9.6μm以下、50nm以上であり、25℃におけるa-b面方向の熱伝導率が1000W/mK以上である点に要旨を有する。本発明においては、密度が1.8g/cm3以上であることが好ましい。本発明の前記グラファイトシートは、高分子フィルムを2900℃以上の温度で熱処理して得られるものであることが好ましく、該高分子フィルムは、ポリアミド、ポリイミド、ポリキノキサリン、ポリオキサジアゾール、ポリベンズイミダゾール等から選択される少なくとも一種であることが好ましい。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)