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Pub. No.:    WO/2016/088623    International Application No.:    PCT/JP2015/083081
Publication Date: 09.06.2016 International Filing Date: 25.11.2015
G01N 21/88 (2006.01), G01B 11/00 (2006.01), G01N 21/958 (2006.01)
Applicants: TORAY ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; Yaesu Ryumeikan Bldg., 3-22, Yaesu 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030028 (JP)
Inventors: SUZUKI,Kazuyoshi; (JP).
MATSUMURA,Junichi; (JP).
UEDA,Hiroyuki; (JP)
Priority Data:
2014-242951 01.12.2014 JP
(JA) 基板検査装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a substrate examination device such that even if a substrate to be examined becomes thin, the device can exam the front surface-side and the rear surface-side of the substrate, separately for the front and the rear, and do so with high accuracy and quickly. More specifically, the substrate examination device is provided with the following: a substrate retaining part; an illumination unit; a splitting and polarizing unit; an S polarization image pickup unit; a P polarization image pickup unit; and a foreign matter examination unit. The foreign matter examination unit is provided with a foreign matter adhered surface determination unit that compares the results of image pickup by the S polarization image pickup unit and examination and the results of image pickup by the P polarization image pickup unit and examination, and from the magnitude relation of scattered light intensity at the same position on the substrate to be examined, determines whether foreign matter has adhered to either the front surface-side or the rear surface-side of the substrate to be examined.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'examen de substrat de telle sorte que, même si un substrat à examiner devient mince, le dispositif peut examiner le côté de surface avant et le côté de surface arrière du substrat, séparément pour l'avant et l'arrière, et le faire avec une haute précision et rapidement. Plus spécifiquement, le dispositif d'examen de substrat comprend les éléments suivants : une partie de retenue de substrat; une unité d'éclairage; une unité de polarisation et de division; une unité de capture d'image de polarisation S; une unité de capture d'image de polarisation P; et une unité d'examen de matière étrangère. L'unité d'examen de matière étrangère comprend une unité de détermination de surface d'adhérence de matière étrangère qui compare les résultats de capture d'image par l'unité de capture d'image de polarisation S et d'examen et les résultats de capture d'image par l'unité de capture d'image de polarisation P et d'examen et, à partir de la relation d'amplitude d'intensité de lumière diffusée dans la même position sur le substrat à examiner, détermine si une matière étrangère adhère au côté de surface avant ou au côté de surface arrière du substrat à examiner.
(JA) 検査対象基板が薄くなっても、表裏分離して基板の表面側及びその裏面側を高精度かつ迅速に検査できる、基板検査装置を提供すること。 具体的には、基板保持部と照明部と、分岐偏光部と、S偏光撮像部と、P偏光撮像部と、異物検査部を備え、 異物検査部には、S偏光撮像部で撮像し検査した結果と、P偏光撮像部で撮像し検査した結果とを比較し、検査対象となる基板上の同じ位置における散乱光強度の大小関係から、当該検査対象となる基板の表面側又は裏面側のどちらに異物が付着しているかを判定する異物付着面判定部が備えられた、基板検査装置である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)