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1. (WO2016088444) VACUUM CHUCK, BEVELING/POLISHING DEVICE, AND SILICON WAFER BEVELING/POLISHING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/088444    International Application No.:    PCT/JP2015/078219
Publication Date: 09.06.2016 International Filing Date: 05.10.2015
IPC:
H01L 21/304 (2006.01), B24B 9/00 (2006.01), B24B 37/30 (2012.01)
Applicants: SUMCO CORPORATION [JP/JP]; 1-2-1, Shibaura, Minato-ku, Tokyo 1058634 (JP)
Inventors: TORII Kantarou; (JP)
Agent: KINOSHITA & ASSOCIATES; 3rd Floor, 26-13, Ogikubo 5-chome, Suginami-ku, Tokyo 1670051 (JP)
Priority Data:
2014-245687 04.12.2014 JP
Title (EN) VACUUM CHUCK, BEVELING/POLISHING DEVICE, AND SILICON WAFER BEVELING/POLISHING METHOD
(FR) VENTOUSE, DISPOSITIF DE BISEAUTAGE/POLISSAGE, ET PROCÉDÉ DE BISEAUTAGE/POLISSAGE DE PLAQUETTE DE SILICIUM
(JA) 吸着チャック、面取り研磨装置、及び、シリコンウェーハの面取り研磨方法
Abstract: front page image
(EN)A vacuum chuck (11) equipped with a vacuum chuck stage (111) having a round vacuum surface (111A), and also equipped with a vacuum protection pad (112) provided on the vacuum surface (111A), the vacuum chuck (11) being characterized in that: a ring-shaped or arc-shaped concavity (111C) for delimiting a center region (111D) positioned on the center side and an outer-circumferential region (111E) positioned on the outer-circumferential side is formed in the vacuum surface (111A); a concavity (111F) having a radiating shape is formed in the center region (111D); the vacuum protection pad (112) has through-holes (112A) connected to the concavity (111F) having the radiating shape; and the vacuum protection pad (112) is joined to a section of the vacuum surface (111A) in the center region (111D) excluding the concavity (111F) having the radiating shape.
(FR)L'invention concerne une ventouse (11) équipée d'un plateau de ventouse (111) présentant une surface de ventouse ronde (111A), et également équipée d'un coussinet de protection de ventouse (112) disposé sur la surface de ventouse (111A), la ventouse (11) étant caractérisée en ce que : une concavité annulaire ou arquée (111C), destinée à délimiter une région centrale (111D) positionnée du côté central et une région circonférentielle extérieure (111E) positionnée du côté circonférentiel extérieur, est formée dans la surface de ventouse (111A); une concavité (111F) ayant une forme rayonnante est formée dans la région centrale (111D); le coussinet de protection de ventouse (112) comporte des trous traversants (112A) reliés à la concavité (111F) ayant la forme rayonnante; et le coussinet de protection de ventouse (112) est joint à une section de la surface de ventouse (111A) dans la région centrale (111D) à l'exclusion de la concavité (111F) ayant la forme rayonnante.
(JA)吸着チャック(11)は、円形の吸着面(111A)を有する吸着チャックステージ(111)と、前記吸着面(111A)に設けられた吸着保護パッド(112)と、を備え、前記吸着面(111A)には、中心側に位置する中央領域(111D)と外周側に位置する外周領域(111E)とに区画する環状又は円弧状の凹部(111C)が形成され、かつ、前記中央領域(111D)には放射状の凹部(111F)が形成され、前記吸着保護パッド(112)は、前記放射状の凹部(111F)と連通する開口孔(112A)を有し、前記吸着保護パッド(112)は、前記放射状の凹部(111F)を除いた前記中央領域(111D)で前記吸着面(111A)と接合されることを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)