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1. (WO2016088291) SENSOR ELEMENT, GYRO SENSOR AND ELECTRONIC APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/088291    International Application No.:    PCT/JP2015/005278
Publication Date: 09.06.2016 International Filing Date: 20.10.2015
IPC:
G01C 19/5677 (2012.01), B81B 3/00 (2006.01), H01L 41/113 (2006.01)
Applicants: SONY CORPORATION [JP/JP]; 1-7-1 Konan, Minato-ku, Tokyo 1080075 (JP)
Inventors: MITANI, Satoshi; (JP).
KABASAWA, Hidetoshi; (JP).
TAKAHASHI, Kazuo; (JP).
NIIKURA, Hideo; (JP)
Agent: OMORI, Junichi; (JP)
Priority Data:
2014-243263 01.12.2014 JP
Title (EN) SENSOR ELEMENT, GYRO SENSOR AND ELECTRONIC APPARATUS
(FR) ÉLÉMENT CAPTEUR, CAPTEUR GYROSCOPIQUE ET APPAREIL ÉLECTRONIQUE
(JA) センサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a sensor element capable of detecting with high accuracy an angular velocity in multiaxial directions, and provide a gyro sensor and an electronic apparatus. [Solution] A sensor element according to one aspect of the present technology is equipped with an oscillator part, an annular base part, a plurality of connecting parts, and a wiring layer. The wiring layer has a plurality of wires for driving and a plurality of wires for detecting. The plurality of wires for driving are respectively connected to first and second driving electrodes and extend adjacent to each other in a parallel manner. The plurality of wires for detecting are respectively connected to first and second detection electrodes and extend adjacent to each other in a parallel manner. The wiring layer is provided on each of the plurality of connecting parts and electrically connects a plurality of terminal parts provided on the base part with a plurality of piezoelectric driving parts and first and second piezoelectric detection parts provided on the oscillator part.
(FR)Le problème à résoudre dans le cadre de la présente invention est de proposer un élément capteur capable de détecter, avec une grande précision, une vitesse angulaire dans des directions multiaxiales, et de proposer un capteur gyroscopique et un appareil électronique. La solution proposée consiste en un élément capteur qui, selon un aspect de la présente technologie, est équipé d'une partie à oscillateur, d'une partie de base annulaire, d'une pluralité de parties de connexion, et d'une couche de câblage. La couche de câblage possède une pluralité de fils pour l'excitation et une pluralité de fils pour la détection. La pluralité de fils pour l'excitation sont respectivement connectés à des première et seconde électrodes d'excitation et s'étendent de façon adjacente les uns aux autres de manière parallèle. La pluralité de fils pour la détection sont respectivement connectées à des première et seconde électrodes de détection et s'étendent de façon adjacente les uns aux autres de manière parallèle. La couche de câblage est prévue sur chacune parmi la pluralité de parties de connexion et connecte électriquement une pluralité de parties bornes prévues sur la partie de base avec une pluralité de parties d'excitation piézoélectrique et des première et seconde parties de détection piézoélectrique prévues sur la partie à oscillateur.
(JA)【課題】多軸方向の角速度を高精度に検出することができるセンサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器を提供する。 【解決手段】本技術の一形態に係るセンサ素子は、振動子部と、環状のベース部と、複数の連結部と、配線層とを具備する。上記配線層は、複数の駆動用配線と、複数の検出用配線とを有する。上記複数の駆動用配線は、第1及び第2の駆動用電極にそれぞれ接続され、相互に隣接して並走する。上記複数の検出用配線は、第1及び第2の検出用電極にそれぞれ接続され、相互に隣接して並走する。上記配線層は、上記複数の連結部にそれぞれ設けられ、上記ベース部に設けられた複数の端子部と、上記振動子部に設けられた複数の圧電駆動部、第1及び第2の圧電検出部との間をそれぞれ電気的に接続する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)