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1. (WO2016088260) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, CHAMBER SCOPE, AND TARGET OBJECT DETECTION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/088260    International Application No.:    PCT/JP2014/082292
Publication Date: 09.06.2016 International Filing Date: 05.12.2014
IPC:
H01J 37/20 (2006.01), G01B 11/00 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: CHIBA Hiroyuki; (JP).
HIRATO Tatsuya; (JP).
NAKAMURA Mitsuhiro; (JP)
Agent: HIRAKI Yusuke; (JP)
Priority Data:
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, CHAMBER SCOPE, AND TARGET OBJECT DETECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE PORTÉE DE CHAMBRE ET D'OBJET CIBLE
(JA) 荷電粒子線装置、チャンバースコープ、及び対象物検出方法
Abstract: front page image
(EN)In this charged particle beam device, an object to be detected can be automatically distinguished and identified without limiting the camera type, the position and the direction of the camera and the object to be detected, and, regardless of whether or not light is transmitted through a sample. Above a stage (105) provided inside a sample chamber (101) of a charged particle beam device, an object to be detected, such as a sample stage (104), is irradiated with light from a light source (107) to image with a camera (108) the object to be detected, the sample chamber (101) serving as a background. Then, a processor (1101) processes the image of the object to be detected, which has been imaged by the camera (108). The object to be detected and the sample chamber (101) are constituted from different materials, and the wavelength of the light from the light source (107) is set in such a manner that the reflectance of the object to be detected is different from the reflectance of the sample chamber (101).
(FR)Cette invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées, dans lequel un objet à détecter peut être automatiquement distingué et identifié sans limiter le type de caméra, la position et l'orientation de la caméra et de l'objet à détecter et, indépendamment du fait qu'une lumière est transmise ou non à travers un échantillon. Au-dessus d'un étage (105) disposé à l'intérieur d'une chambre d'échantillon (101) d'un dispositif à faisceau de particules chargées, un objet à détecter, tel qu'un étage d'échantillon (104), est irradié avec de la lumière provenant d'une source de lumière (107) pour capturer au moyen d'une caméra (108) l'objet à détecter, la chambre d'échantillon (101) servant d'arrière-plan. Ensuite, un processeur (1101) traite l'image de l'objet à détecter, qui a été capturée par la caméra (108). L'objet à détecter et la chambre d'échantillon (101) sont constitués de matériaux différents, et la longueur d'onde de la lumière provenant de la source de lumière (107) est réglée de telle manière que la réflectance de l'objet à détecter est différente de la réflectance de la chambre d'échantillon (101).
(JA) 荷電粒子線装置において、カメラと検出対象の位置や方向、カメラの種類を限定せず、かつ光が試料を透過するか否かに関係なく、検出対象を自動的に判別・特定することを可能にする。 荷電粒子線装置の試料室(101)内に設けられたステージ(105)上に載置される試料台(104)等の検出対象に光源(107)から光を照射し、試料室(101)を背景として検出対象をカメラ(108)で撮像する。そして、プロセッサ(1101)は、カメラ(108)で撮像した検出対象の画像を処理する。ここで、検出対象と試料室(101)は異なる材料で構成されており、光源(107)の光の波長は、検出対象の反射率が試料室(101)の反射率とは異なるように設定されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)