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1. (WO2016086998) MICROELECTROMECHANICAL SWITCH AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/086998    International Application No.:    PCT/EP2014/076610
Publication Date: 09.06.2016 International Filing Date: 04.12.2014
IPC:
H01H 1/00 (2006.01), H01H 59/00 (2006.01)
Applicants: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastrasse 27c 80686 München (DE).
SONY CORPORATION [JP/JP]; 1-7 Konan 1 chome Minato-ku Tokyo 108-0075 (JP)
Inventors: KURTH, Steffen; (DE).
VOIGT, Sven; (DE).
HAAS, Sven; (DE).
IKEDA, Koichi; (JP).
AKIRA, Akiba; (JP)
Agent: SCHENK, Markus; (DE)
Priority Data:
Title (EN) MICROELECTROMECHANICAL SWITCH AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
(FR) INTERRUPTEUR À MICROSYSTÈME ÉLECTROMÉCANIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract: front page image
(EN)A MEMS switch comprises a first and a second contact arrangement having a side facing each other, the first and the second contact arrangement movable with respect to each other and configured for providing an electric contact in a first state and for not providing the electric contact in a second state. A first contact material is arranged at the side of the first contact arrangement. A second contact material is arranged at the side of the second contact arrangement. The side of the first and/or the side of the second contact arrangement comprises a recessed region and a projected region projected with respect to the recessed region, the projected region and the recessed region separated from each other by a tear-off edge. The first and/or the second contact material is arranged at the recessed region and at the projected region of the respective side. The electric contact is provided between the first and the second contact material in the projected region of the sides and not provided in the recessed region in the first state.
(FR)L'invention porte sur un interrupteur à microsystème électromécanique (MEMS) qui comprend des premier et second agencements de contact se faisant face par un côté, les premier et second agencements de contact étant mobiles l'un par rapport à l'autre et configurés pour établir un contact électrique dans un premier état et pour ne pas établir de contact électrique dans un second état. Un premier matériau de contact est agencé au niveau du côté du premier agencement de contact. Un second matériau de contact est agencé au niveau du côté du second agencement de contact. Le côté du premier et/ou le côté du second agencement de contact comprennent une région en retrait et une région en saillie faisant saillie par rapport à la région en retrait, la région en saillie et la région en retrait étant séparées l'une de l'autre par une arête de rupture. Le premier et/ou le second matériau de contact est agencé au niveau de la région en retrait et au niveau de la région en saillie du côté respectif. Le contact électrique est établi entre le premier et le second matériau de contact dans la région en saillie des côtés et n'est pas établi dans la région en retrait dans le premier état.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)