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1. (WO2016086090) METHODS AND APPARATUS FOR PEDESTAL RING RESONATORS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/086090    International Application No.:    PCT/US2015/062590
Publication Date: 02.06.2016 International Filing Date: 25.11.2015
IPC:
H01P 7/00 (2006.01)
Applicants: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY [US/US]; 77 Massachusetts Ave Cambridge, Massachusetts 02139 (US)
Inventors: LIN, Pao Tai; (US).
MICHEL, Jurgen; (US).
AGARWAL, Anuradha Murthy; (US)
Agent: TEJA, Joseph, Jr.; (US)
Priority Data:
62/084,643 26.11.2014 US
Title (EN) METHODS AND APPARATUS FOR PEDESTAL RING RESONATORS
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREILS POUR RÉSONATEURS EN ANNEAU À SOCLE
Abstract: front page image
(EN)A device includes a substrate, a pedestal extending from the substrate, and a ring resonator disposed on the pedestal above the substrate. The ring resonator has a resonance wavelength greater than 1.5 μm and includes at least one of silicon and chalcogenide glass. The device can be used as a ring resonator sensor or a light source. The ring resonator is substantially transparent to mid-infrared radiation to reduce optical losses. The pedestal has a narrower width compared to the ring resonator to generate improved interaction between evanescent fields of light in the ring resonator and analytes nearby the ring resonator, thereby increasing sensing sensitivity. In addition, fabrication of the device is compatible with complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) processes and hence is amenable to large scale manufacturing.
(FR)L'invention concerne un dispositif qui comprend un substrat, un socle s'étendant à partir du substrat, et un résonateur en anneau disposé sur le socle au-dessus du substrat. Le résonateur en anneau possède une longueur d'onde de résonance supérieure à 1,5 µm et comprend du silicium et/ou du verre de chalcogénure. Le dispositif peut être utilisé comme capteur à résonateur en anneau ou comme source de lumière. Le résonateur en anneau est sensiblement transparent à un rayonnement infrarouge moyen afin de réduire les pertes optiques. Le socle présente une plus petite largeur par comparaison au résonateur en anneau afin de générer une meilleure interaction entre les champs lumineux évanescents dans le résonateur en anneau et des substances à analyser à proximité du résonateur en anneau, ce qui permet d'augmenter la sensibilité de détection. En outre, la fabrication du dispositif est compatible avec des processus métal-oxyde-semi-conducteur complémentaires (CMOS), et est donc susceptible d'être appliquée à une fabrication à grande échelle.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)