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1. (WO2016084978) WIRING-BOARD PRODUCTION METHOD, DATA CORRECTION DEVICE, WIRING-PATTERN FORMATION SYSTEM, AND DATA CORRECTION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/084978    International Application No.:    PCT/JP2015/083605
Publication Date: 02.06.2016 International Filing Date: 30.11.2015
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H05K 3/00 (2006.01), H05K 3/06 (2006.01)
Applicants: HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. [JP/JP]; 9-2, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006606 (JP)
Inventors: YAMAMOTO Teppei; (JP).
NAKAYAMA Hajime; (JP).
OGINO Haruo; (JP).
ISODA Satoshi; (JP)
Agent: MINAKAWA Kazuyasu; (JP)
Priority Data:
2014-241441 28.11.2014 JP
2015-194084 30.09.2015 JP
2015-194082 30.09.2015 JP
2015-194083 30.09.2015 JP
Title (EN) WIRING-BOARD PRODUCTION METHOD, DATA CORRECTION DEVICE, WIRING-PATTERN FORMATION SYSTEM, AND DATA CORRECTION METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CARTE DE CÂBLAGE, DISPOSITIF DE CORRECTION DE DONNÉES, SYSTÈME DE FORMATION DE MOTIF DE CÂBLAGE, ET PROCÉDÉ DE CORRECTION DE DONNÉES
(JA) 配線基板の製造方法、データ補正装置、配線パターン形成システム及びデータ補正方法
Abstract: front page image
(EN)A step (C) for generating, on the basis of the difference between original data and actual pattern data, correction data for the original data or exposure data is provided with: a step (C-1) in which difference data is generated from the difference between the actual pattern data and the original data; a step (C-2) in which a plurality of correction functions defining the relationship between the cause of the difference and the original-data correction amount or the exposure-data correction amount for suppressing the difference are generated from the relationship between the difference data and the cause of the difference; and a step (C-3) in which a correction function obtained by synthesizing the plurality of correction functions is generated.
(FR)Selon la présente invention, une étape (C) qui consiste à générer, sur la base de la différence entre des données d'origine et des données de motif réel, des données de correction destinées aux données d'origine ou à des données d'exposition, comprend : une étape (C-1) au cours de laquelle des données de différence sont générées à partir de la différence entre les données de motif réel et les données d'origine ; une étape (C-2) au cours de laquelle une pluralité de fonctions de correction définissant la relation entre la cause de la différence et la quantité de correction de données d'origine ou la quantité de correction de données d'exposition pour la suppression de la différence sont générées à partir de la relation entre les données de différence et la cause de la différence ; ainsi qu'une étape (C-3) au cours de laquelle une fonction de correction obtenue par synthèse de la pluralité de fonctions de correction est générée.
(JA) 元データと実パターンデータとの差分に基づいて、前記元データ又は露光データの補正データを作成する工程(C)が、前記実パターンデータと前記元データとの差分から差分データを作成する工程(C-1)と、この差分データと前記差分を生じさせる因子との関係から、前記差分を生じさせる因子と差分を抑制するための前記元データの補正量又は前記露光データの補正量との関係を規定した複数の補正関数を作成する工程(C-2)と、この複数の補正関数を合成した補正関数を作成する工程(C-3)とを有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)