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1. (WO2016084407) SORTING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/084407    International Application No.:    PCT/JP2015/064561
Publication Date: 02.06.2016 International Filing Date: 21.05.2015
IPC:
H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/301 (2006.01)
Applicants: UENO SEIKI CO., LTD. [JP/JP]; 1-2-18, Shimofutanishi, Mizumaki-cho, Onga-gun, Fukuoka 8070052 (JP)
Inventors: MINAMI, Hideo; (JP)
Agent: KIUCHI, Mitsuharu; (JP)
Priority Data:
2014-241503 28.11.2014 JP
Title (EN) SORTING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRI
(JA) 分類装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a sorting device that sorts two ranks of chips onto two wafer sheets, and that efficiently attaches the chips at the correct position. This sorting device has: a support device 100 that supports a wafer sheet Da to which a wafer W is attached; a holding device 200 that selectively picks up, on the basis of rank, chips S that have been separated from each other by expansion of the wafer sheet Da; transport devices 300 that transport the chips S; measurement devices 400 that measure deviation in the posture of the chips S; a correction device 500 that corrects the posture of the chips S; a first collection device 600 that supports a wafer sheet Db to which chips S of a first type of rank are attached; a second collection device 700 that supports a wafer sheet Dc to which chips S of another type of rank are attached; a holding device 200 that attaches the chips S, divided into the ranks, to the wafer sheets Db, Dc; and an auto-loader 5A that sequentially replaces the wafer sheet Da after all of the two types of ranks of chips S have been picked up from the wafer sheet Da.
(FR)L'invention concerne un dispositif de tri qui trie deux rangs de puces sur deux feuilles de plaquette, et qui fixe efficacement les puces à la position correcte. Ce dispositif de tri comporte : un dispositif de support 100 qui supporte une feuille de plaquette Da à laquelle une plaquette W est fixée ; un dispositif de retenue 200 qui prélève sélectivement, sur la base d'un rang, des puces S qui ont été séparées l'une de l'autre par dilatation de la feuille de plaquette Da ; des dispositifs de transport 300 qui transportent les puces S ; des dispositifs de mesure 400 qui mesurent un écart dans la posture des puces S ; un dispositif de correction 500 qui corrige la posture des puces S ; un premier dispositif de collecte 600 qui supporte une feuille de plaquette Db sur laquelle des puces S d'un premier type de rang sont fixées ; un second dispositif de collecte 700 qui supporte une feuille de plaquette Dc sur laquelle des puces S d'un autre type de rang sont fixées ; un dispositif de retenue 200 qui fixe les puces S, divisées en rangs, aux feuilles de plaquette Db, Dc ; et un chargeur automatique 5A qui remplace séquentiellement la feuille de plaquette Da après que toutes les puces S des deux types de rangs sont prélevées de la feuille de plaquette Da.
(JA) 2ランクのチップを、2つのウェハシートに分類して、効率良く正確な位置に貼り付けられる分類装置を提供する。ウェハWが貼付されたウェハシートDaを支持する支持装置100、ウェハシートDaの伸張により分離されたチップSを、ランクに基づき選択的にピックアップする保持装置200、チップSを搬送する搬送装置300、チップSの姿勢ズレを計測する計測装置400、チップSの姿勢を補正する補正装置500、1種のランクのチップSが貼り付けられるウェハシートDbを支持する第1の収集装置600、他の1種のランクのチップSが貼り付けられるウェハシートDcを支持する第2の収集装置700、ウェハシートDb、Dcに、ランクに分けてチップSを貼り付ける保持装置200、ウェハシートDaから2種のランクのチップSが全てピックアップされた後に、ウェハシートDaを順次交換するオートローダ5Aを有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)