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1. (WO2016084356) LIQUID LEVEL DETECTION DEVICE, LIQUID LEVEL DETECTION METHOD, HIGH-TEMPERATURE PLASMA SOURCE MATERIAL SUPPLY DEVICE, AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/084356    International Application No.:    PCT/JP2015/005796
Publication Date: 02.06.2016 International Filing Date: 19.11.2015
IPC:
G01F 23/24 (2006.01), G01F 23/22 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G21K 5/00 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H05G 1/00 (2006.01), H05G 1/26 (2006.01)
Applicants: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-6-5, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1008150 (JP)
Inventors: NAGANO, Akihisa; (JP).
NIIMI, Gota; (JP)
Agent: KONISHI, Kay; (JP)
Priority Data:
2014-238082 25.11.2014 JP
Title (EN) LIQUID LEVEL DETECTION DEVICE, LIQUID LEVEL DETECTION METHOD, HIGH-TEMPERATURE PLASMA SOURCE MATERIAL SUPPLY DEVICE, AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE DEVICE
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE NIVEAU DE LIQUIDE, DISPOSITIF D'ALIMENTATION DE MATÉRIAU DE SOURCE DE PLASMA À HAUTE TEMPÉRATURE, ET DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIÈRE À ULTRAVIOLET EXTRÊME
(JA) 液面レベル検出装置、液面レベル検出方法、高温プラズマ原料供給装置及び極端紫外光光源装置
Abstract: front page image
(EN)Disclosed is a liquid level detection device for appropriately detecting the liquid level (contained amount) of a high-temperature plasma source material in a liquid state, such as molten tin, within a reservoir containing the high-temperature plasma source material. This liquid level detection device is provided with an upper limit level sensor (41) for detecting when the liquid level of a tin (Sn) high-temperature plasma source material has risen from below and reached an upper limit level La (first liquid level), and a refill level sensor (42) and a lower limit level sensor (43), for detecting when the liquid level of tin has fallen from above and reached a refill level Lb or a lower limit level Lc (second liquid level). The detection responsiveness of the upper limit level detector (41) to the liquid level is higher than the detection responsiveness of the refill level sensor (42) and the lower limit level sensor (43) to the liquid level, and the liquid level detection ability of the refill level sensor (42) and the lower limit level sensor (43) is higher than the liquid level detection ability of the upper limit level sensor (41).
(FR)L'invention concerne un dispositif de détection de niveau de liquide pour détecter de façon appropriée le niveau de liquide (quantité contenue) d'un matériau de source de plasma à haute température à l'état liquide, tel que l'étain fondu, à l'intérieur d'un réservoir contenant le matériau de source de plasma à haute température. Ce dispositif de détection de niveau de liquide est pourvu d'un capteur de niveau de limite supérieure (41) pour détecter lorsque le niveau de liquide d'un matériau de source de plasma à haute température tel que l'étain (Sn) a augmenté et atteint un niveau de limite supérieure La (premier niveau de liquide), et un capteur de niveau de remplissage (42) et un capteur de niveau de limite inférieure (43) pour détecter, lorsque le niveau de l'étain liquide a chuté et a atteint un niveau de remplissage Lb ou un niveau de limite inférieure Lc (second niveau de liquide). La rapidité de détection du détecteur de niveau de limite supérieure (41) par rapport au niveau de liquide est supérieure à la rapidité de détection du capteur de niveau de remplissage (42) et du capteur de niveau de limite inférieure (43) par rapport au niveau du liquide, et la capacité de détection de niveau de liquide du capteur de niveau de remplissage (42) et du capteur de niveau de limite inférieure (43) est supérieure à la capacité de détection de niveau de liquide du capteur de niveau de limite supérieure (41).
(JA)溶融スズ等の液体状の高温プラズマ原料を収容するリザーバーにおいて、当該高温プラズマ原料の液面レベル(収容量)を適切に検出する液面レベル検出装置が開示される。 液面レベル検出装置は、高温プラズマ原料であるスズ(Sn)の液面レベルが、下方から上昇して上限レベルLa(第一の液面レベル)に到達したことを検出する上限レベルセンサ(41)と、スズの液面レベルが、上方から下降して再充填レベルLbや下限レベルLc(第二の液面レベル)に到達したことを検出する再充填レベルセンサ(42)や下限レベルセンサ(43)と、を備える。上限レベルセンサ(41)の液面レベルの検出応答性は、再充填レベルセンサ(42)や下限レベルセンサ(43)の液面レベルの検出応答性よりも高く、再充填レベルセンサ(42)や下限レベルセンサ(43)の液面レベルの検出能は、上限レベルセンサ(41)の液面レベルの検出能よりも高い。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)