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1. (WO2016084194) SHAPE MEASURING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/084194    International Application No.:    PCT/JP2014/081400
Publication Date: 02.06.2016 International Filing Date: 27.11.2014
IPC:
G01B 11/24 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01)
Applicants: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. [JP/JP]; 2968-2, Ishikawa-machi, Hachioji-shi, Tokyo 1928515 (JP)
Inventors: AOTO, Tomohiro; (JP)
Agent: MATSUURA, Kenzo; (JP)
Priority Data:
Title (EN) SHAPE MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE FORME
(JA) 形状測定装置
Abstract: front page image
(EN)A shape measuring device is provided which can measure the three-dimensional shape of a surface with high speed and high accuracy. A low-coherence beam emitted from a low-coherence light source (12) enters a beam splitter (18) via a collimator (16) and is divided into a measurement beam and a reference beam by the beam splitter (18). The measurement beam is magnified and collimated by a telecentric optic system (20) and is irradiated onto the measurement object (O). By means of the bream splitter (18), the measurement beam reflected on the measurement object (O) and the reference beam reflected on a CCP (40) are combined into one, interfere, and enter an optical detector (24). The optical detector (24) is configured from a matrix arrangement of light receiving elements (30). The three-dimensional shape of the area irradiated by the measurement beam is measured on the basis of the light intensity of the interference beam detected by the light receiving elements (30) of the optical detector (24).
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure de forme pouvant mesurer la forme tridimensionnelle d'une surface avec une vitesse élevée et une précision élevée. Selon l'invention, un faisceau à faible cohérence émis à partir d'une source de lumière à faible cohérence (12) entre dans un diviseur de faisceau (18) par l'intermédiaire d'un collimateur (16) et est divisé en un faisceau de mesure et un faisceau de référence par le diviseur de faisceau (18). Le faisceau de mesure est amplifié et collimaté par un système optique télécentrique (20) et est envoyé sur l'objet de la mesure (O). Au moyen du séparateur de faisceau (18), le faisceau de mesure réfléchi sur l'objet de la mesure (O) et le faisceau de référence réfléchi sur un CCP (40) sont combinés en un faisceau, interfèrent et entrent dans un détecteur optique (24). Le détecteur optique (24) est formé à partir d'un agencement en matrice d'éléments de réception de lumière (30). La forme tridimensionnelle de la zone exposée au faisceau de mesure est mesurée sur la base de l'intensité lumineuse du faisceau d'interférence détecté par les éléments de réception de lumière (30) du détecteur optique (24).
(JA) 面の三次元形状を高速かつ高精度に測定することができる形状測定装置を提供する。低コヒーレンス光源(12)から放射された低コヒーレンス光は、コリメータ(16)を介してビームスプリッタ(18)に入射され、ビームスプリッタ(18)によって測定光と参照光とに分割される。測定光はテレセントリック光学系(20)によって拡大、平行化されて測定対象物(O)に照射される。測定対象物(O)で反射した測定光は、ビームスプリッタ(18)によって、CCP(40)で反射した参照光と一つに合わされて干渉し、光検出器(24)に入射される。光検出器(24)は、受光素子(30)をマトリクス状に配列して構成される。光検出器(24)の各受光素子(30)で検出される干渉光の光強度に基づいて測定光が照射された部位の三次元形状が測定される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)