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1. (WO2016084157) SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND ELECTRON TRAJECTORY ADJUSTMENT METHOD THEREFOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/084157    International Application No.:    PCT/JP2014/081222
Publication Date: 02.06.2016 International Filing Date: 26.11.2014
IPC:
H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/21 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280 (JP)
Inventors: BIZEN Daisuke; (JP).
MORISHITA Hideo; (JP).
HATANO Michio; (JP).
OHTA Hiroya; (JP)
Agent: POLAIRE I.P.C.; 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025 (JP)
Priority Data:
Title (EN) SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND ELECTRON TRAJECTORY ADJUSTMENT METHOD THEREFOR
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE TRAJECTOIRE D'ÉLECTRONS POUR CELUI-CI
(JA) 走査電子顕微鏡およびその電子軌道調整方法
Abstract: front page image
(EN)In order to provide a scanning electron microscope having an electron dispersion system that combines high space resolving power and high secondary electron detection rate under conditions where the energy of primary electrons is low, the scanning electron microscope of this invention has an objective lens (105), primary electron acceleration means (104) for accelerating primary electrons (102), primary electron deceleration means (109) whereby the primary electrons are decelerated and radiated onto a sample (106), a secondary electron deflector (103) whereby the secondary electrons (110) from the sample are deflected off the optical axis of the primary electrons, a disperser (111) for dispersing the secondary electrons, and a control unit (116) for controlling the voltages applied to the objective lens, the primary electron acceleration means, and the primary electron deceleration means in such a manner that the secondary electrons converge at the entrance of the disperser.
(FR)L'invention a pour objet de réaliser un microscope électronique à balayage doté d'un système de dispersion d'électrons qui combine une forte puissance de résolution spatiale et un taux élevé de détection d'électrons secondaires dans des conditions où l'énergie d'électrons primaires est faible. À cet effet, le microscope électronique à balayage de la présente invention est doté d'un objectif (105), d'un moyen (104) d'accélération d'électrons primaires servant à accélérer des électrons primaires (102), d'un moyen (109) de décélération d'électrons primaires à l'aide duquel les électrons primaires sont décélérés et rayonnés sur un échantillon (106), un déflecteur (103) d'électrons secondaires à l'aide duquel les électrons secondaires (110) issus de l'échantillon sont déviés de l'axe optique des électrons primaires, un disperseur (111) servant à disperser les électrons secondaires, et une unité (116) de régulation servant à réguler les tensions appliquées à l'objectif, au moyen d'accélération d'électrons primaires et au moyen de décélération d'électrons primaires de telle manière que les électrons secondaires convergent à l'entrée du disperseur.
(JA) 一次電子のエネルギーが低い条件において、高い空間分解能と高い二次電子検出率を両立させた電子分光系を有する走査電子顕微鏡を提供するために、対物レンズ(105)と、一次電子(102)を加速する一次電子加速手段(104)と、一次電子を減速して試料(106)に照射する一次電子減速手段(109)と、試料からの二次電子(110)を一次電子の光軸外に偏向する二次電子偏向器(103)と、二次電子を分光する分光器(111)と、二次電子を分光器の入口に収束させるように、対物レンズ、一次電子加速手段および一次電子減速手段への印加電圧を制御する制御部(116)と、を有する走査電子顕微鏡とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)