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1. (WO2016084124) SAMPLE FOR COORDINATE CALIBRATION AND METHOD OF PRODUCING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/084124    International Application No.:    PCT/JP2014/081015
Publication Date: 02.06.2016 International Filing Date: 25.11.2014
IPC:
G01N 21/956 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: JINGU Takahiro; (JP)
Agent: HIRAKI Yusuke; (JP)
Priority Data:
Title (EN) SAMPLE FOR COORDINATE CALIBRATION AND METHOD OF PRODUCING SAME
(FR) ÉCHANTILLON POUR ÉTALONNAGE DE COORDONNÉES ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 座標校正用試料及びその作製方法
Abstract: front page image
(EN)The present invention proposes a sample for coordinate calibration having (1) a disk-shaped substrate and (2) a plurality of manufactured defects that form a lattice pattern having square unit cells on the surface of the substrate. The manufactured defect forming the center of the lattice pattern corresponds to the center of the substrate, and given a maximum number N (a natural number greater than or equal to 2) of unit cells aligned in the radial direction from the center of the substrate, the number of manufactured defects formed equidistantly along each side of a unit cell, including the two manufactured defects forming a vertex of that unit cell, is N + 1.
(FR)La présente invention concerne un échantillon pour l'étalonnage de coordonnées ayant (1) un substrat en forme de disque et (2) une pluralité de défauts fabriqués qui forment un motif de treillis ayant des cellules unitaires carrées sur la surface du substrat . Le défaut fabriqué formant le centre du motif en treillis correspond au centre du substrat, et étant donné un nombre maximum N (un nombre entier naturel supérieur ou égal à 2) de cellules unitaires alignées dans la direction radiale depuis le centre du substrat, le nombre de défauts fabriqués formés de manière équidistante le long de chaque côté d'une cellule unitaire, y compris les deux défauts fabriqués formant un sommet de cette cellule unitaire, est N + 1.
(JA) (1)円板状の基板と、(2)正方形を単位格子とする格子パターンを前記基板の表面に形成する複数個の作り込み欠陥であり、前記格子パターンの中心点を与える作り込み欠陥が前記基板の中心点と一致し、前記基板の中心点から半径方向に並ぶ前記単位格子の個数の最大値をN(2以上の自然数)個とするとき、前記単位格子の一辺に沿って等間隔に形成される前記作り込み欠陥の個数を、前記単位格子の頂点を与える2つの作り込み欠陥を含んでN+1個とする、複数個の作り込み欠陥とを有する座標校正用試料を提案する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)