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1. (WO2016083508) SUBSTRATE HOLDING DEVICE, SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE, PROCESSING ARRANGEMENT AND METHOD FOR PROCESSING A SUBSTRATE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/083508    International Application No.:    PCT/EP2015/077778
Publication Date: 02.06.2016 International Filing Date: 26.11.2015
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
Applicants: VON ARDENNE GMBH [DE/DE]; Am Hahnweg 8 01328 Dresden (DE)
Inventors: KÜNANZ, Robert; (DE).
MELCHER, Jens; (DE).
LAIMER, Georg; (DE).
HORNBOSTEL, Björn; (DE).
HÄUSLER, Christoph; (DE).
ZSCHIESCHANG, Erwin; (DE)
Agent: VIERING, JENTSCHURA & PARTNER MBB; Am Brauhaus 8 01099 Dresden (DE)
Priority Data:
10 2014 117 347.3 26.11.2014 DE
10 2015 101 221.9 28.01.2015 DE
10 2015 110 854.2 06.07.2015 DE
10 2015 113 529.9 17.08.2015 DE
Title (DE) SUBSTRATHALTEVORRICHTUNG, SUBSTRATTRANSPORTVORRICHTUNG, PROZESSIERANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM PROZESSIEREN EINES SUBSTRATS
(EN) SUBSTRATE HOLDING DEVICE, SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE, PROCESSING ARRANGEMENT AND METHOD FOR PROCESSING A SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF DE TENUE DE SUBSTRAT, DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT, ENSEMBLE DE TRAITEMENT ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(DE)Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Substrathaltevorrichtung (100) bereitstellt, wobei diese Folgendes aufweisen kann: eine Trägerplatte (102) mit einer Aussparung (112), wobei sich die Aussparung (112) von einer Oberseite (102a) der Trägerplatte (102) zu einer Unterseite (102b) der Trägerplatte (102) durch die Trägerplatte (102) hindurch erstreckt; einen Halterahmen (132a), welcher eine Rahmenöffnung (132) und eine die Rahmenöffnung (132) umgebende Auflagefläche (111a) zum Halten eines Substrats (120) in der Aussparung (112) aufweist; wobei der in die Aussparung (112) eingelegte Halterahmen (132a) abschnittsweise auf der Trägerplatte (102) aufliegt.
(EN)In accordance with various embodiments, provision is made of a substrate holding device (100), wherein the latter may comprise the following: a carrier plate (102) with a recess (112), the recess (112) extending from an upper side (102a) of the carrier plate (102) to a lower side (102b) of the carrier plate (102) through the carrier plate (102); a holding frame (132a), which has a frame opening (132) and a support area (111a), surrounding the frame opening (132), for holding a substrate (120) in the recess (112); wherein the holding frame (132a) inserted into the recess (112) lies on the carrier plate (102) in sections.
(FR)L'invention concerne un dispositif de tenue de substrat (100) selon différents modes de réalisation, qui peut comprendre les éléments suivants : une plaque porteuse (102) avec un évidement (112) qui s'étend à travers la plaque support (102) d'une face supérieure (102a) de la plaque support (102) à une face inférieure (102b) de la plaque support (102); un cadre de tenue (132a) qui comprend une ouverture de cadre (132) et une surface de pose du cadre (111a) entourant l'ouverture (132) pour tenir un substrat (120) dans l'évidement (112), le cadre de tenue (132a) déposé dans l'évidement (112) repose en partie sur la plaque support (102).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)