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1. (WO2016083120) RADIATION BEAM APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/083120    International Application No.:    PCT/EP2015/076179
Publication Date: 02.06.2016 International Filing Date: 10.11.2015
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G02B 6/293 (2006.01), G02B 5/18 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: DEKKERS, Jeroen; (NL).
NIENHUYS, Han-Kwang; (NL).
RENKENS, Michael, Jozef, Mathijs; (NL).
AKKERMANS, Johannes, Antonius, Gerardus; (NL).
DE VRIES, Gosse, Charles; (NL).
LOOPSTRA, Erik, Roelof; (NL)
Agent: SLENDERS, Petrus J.W.; (NL)
Priority Data:
14194518.8 24.11.2014 EP
Title (EN) RADIATION BEAM APPARATUS
(FR) APPAREIL À FAISCEAU DE RAYONNEMENT
Abstract: front page image
(EN)An adjustable diffraction grating comprises: an optical element and a distortion mechanism. The optical element has an optical surface for receiving an input radiation beam. The optical element is provided with a plurality of closed channels below the optical surface, above each closed channel the optical surface being formed from a membrane of material. The distortion mechanism comprises one or more actuators that are operable to distort the membranes over the closed channels so as to control the shape of the optical surface and to form a periodic structure on the optical surface which acts as a diffraction grating such that the input radiation beam is diffracted from the optical element to form a plurality of angularly separated sub-beams.
(FR)Selon l'invention, un réseau de diffraction réglable comprend un élément optique ainsi qu'un mécanisme de distorsion. L'élément optique possède une surface optique destinée à recevoir un faisceau de rayonnement d'entrée. Cet élément optique est pourvu d'une pluralité de canaux fermés en dessous de la surface optique, ladite surface optique étant constituée d'une membrane de matériau au-dessus de chaque canal fermé. Le mécanisme de distorsion comporte un ou plusieurs actionneurs qui permettent de déformer les membranes au-dessus des canaux fermés, de façon à ajuster la forme de la surface optique et à créer, sur ladite surface optique, une structure périodique qui sert de réseau de diffraction, de telle sorte que le faisceau de rayonnement d'entrée soit diffracté par l'élément optique pour former une pluralité de sous-faisceaux présentant un écart angulaire.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)