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1. (WO2016065132) METHOD, SYSTEM, AND DEVICE FOR DELIVERY OF PROCESS GAS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/065132    International Application No.:    PCT/US2015/056887
Publication Date: 28.04.2016 International Filing Date: 22.10.2015
IPC:
B01D 53/44 (2006.01), B01D 53/77 (2006.01), B01J 20/292 (2006.01), H01G 4/06 (2006.01)
Applicants: RASIRC, INC. [US/US]; 7815 Silverton Avenue San Diego, CA 92126 (US)
Inventors: ALVAREZ, Daniel, Jr.; (US).
HOLMES, Russell, J.; (US).
SPIEGELMAN, Jeffrey; (US).
HEINLEIN, Edward; (US).
RAMOS, Christopher; (US)
Agent: NOVOM, Antony M.; (US)
Priority Data:
62/067,901 23.10.2014 US
62/190,578 09.07.2015 US
Title (EN) METHOD, SYSTEM, AND DEVICE FOR DELIVERY OF PROCESS GAS
(FR) PROCÉDÉ, SYSTÈME ET DISPOSITIF POUR L'ACHEMINEMENT DE GAZ DE PROCÉDÉ
Abstract: front page image
(EN)A method and chemical delivery system and device are provided. One method includes contacting a non-aqueous hydrazine solution with a carrier gas and/or vacuum and delivering a gas stream comprising hydrazine to a critical process or application. One chemical delivery system and device includes a non-aqueous hydrazine solution having a vapor phase that is in contact with a carrier gas and/or vacuum. One device includes a chamber for containing a liquid comprising at least one volatile process chemical, such as a non-aqueous hydrazine solution, a hydrogen peroxide solution, or another suitable process chemical, and a head space from which the volatile can be drawn using a carrier gas and/or vacuum. Another method useful in the present invention involves drawing a process chemical from a device as a disclosed herein using a carrier or vacuum and delivering the process chemical to a critical process or application.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif et système d'acheminement de produit chimique. Un procédé comprend la mise en contact d'une solution non aqueuse d'hydrazine avec un gaz vecteur et/ou du vide et l'acheminement d'un flux de gaz comprenant de l'hydrazine vers un processus critique ou une application critique. Un dispositif et système d'acheminement de produit chimique comprend une solution non aqueuse d'hydrazine ayant une phase vapeur qui est en contact avec un gaz vecteur et/ou du vide. Un dispositif comprend une chambre destinée à contenir un liquide comprenant au moins un produit chimique de procédé volatil, tel qu'une solution non aqueuse d'hydrazine, une solution de peroxyde d'hydrogène ou un autre produit chimique de procédé approprié, et un espace de tête à partir duquel la substance volatile peut être aspirée à l'aide d'un gaz vecteur et/ou de vide. Un autre procédé utile dans la présente invention comprend l'aspiration d'un produit chimique de procédé à partir d'un dispositif selon la présente invention à l'aide d'un vecteur ou de vide et l'acheminement du produit chimique de procédé vers un processus critique ou une application critique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)