WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2016064833) OPTICAL SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/064833    International Application No.:    PCT/US2015/056402
Publication Date: 28.04.2016 International Filing Date: 20.10.2015
IPC:
F21S 2/00 (2006.01), F21V 15/01 (2006.01), F21V 7/00 (2006.01), H05B 3/00 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: RANISH, Joseph M.; (US)
Agent: PATTERSON, B. Todd; (US)
Priority Data:
62/066,235 20.10.2014 US
14/867,788 28.09.2015 US
Title (EN) OPTICAL SYSTEM
(FR) SYSTÈME OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN)Implementations of the present disclosure generally relate to an improved lamphead assembly for use in a thermal processing chamber. In one implementation, a lamphead assembly comprises a lamp housing tube comprising a lamp disposed therein, the lamp housing tube having an open end facing towards the substrate support, and an insert tube disposed within the lamp housing tube, the insert tube surrounds at least a portion of the lamp and has a constant inner diameter throughout the entire length of the insert tube, wherein the insert tube collimates radiant energy from the lamp toward the substrate support. The insert tube comprises a cylindrical lower portion disposed adjacent to the open end of the lamp housing tube, and a tapered upper portion integrated with the cylindrical lower portion as one body.
(FR)Selon des modes de réalisation, la présente invention porte d'une manière générale sur un ensemble boîtier de lampe amélioré destiné à être utilisé dans une chambre de traitement thermique. Dans un mode de réalisation, l'ensemble boîtier de lampe comprend un tube de logement de lampe à l'intérieur duquel est disposée une lampe, le tube de logement de lampe ayant une extrémité ouverte tournée vers un support de substrat, et un tube d'introduction disposé à l'intérieur du tube de logement de lampe, le tube d'introduction entourant au moins une partie de la lampe et présentant un diamètre intérieur constant sur toute la longueur du tube d'introduction, le tube d'introduction collimatant l'énergie rayonnante provenant de la lampe vers le support de substrat. Le tube d'introduction comprend une partie inférieure cylindrique disposée adjacente à l'extrémité ouverte du tube de logement de lampe, et une partie supérieure conique intégrée à la partie inférieure cylindrique sous la forme d'un seul corps.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)