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1. (WO2016064678) COMPOUND SPRING MEMS RESONATOR FOR OSCILLATORS AND REAL-TIME CLOCK APPLICATIONS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/064678    International Application No.:    PCT/US2015/056000
Publication Date: 28.04.2016 International Filing Date: 16.10.2015
IPC:
H03H 9/02 (2006.01), H03H 9/24 (2006.01), G01P 15/08 (2006.01)
Applicants: MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED [US/US]; 2355 West Chandler Blvd. Chandler, AZ 85224-6199 (US)
Inventors: CLARK, John, Ryan; (US)
Agent: COOK, Carmen, C.; (US)
Priority Data:
14/883,435 14.10.2015 US
62/067,206 22.10.2014 US
62/067,230 22.10.2014 US
Title (EN) COMPOUND SPRING MEMS RESONATOR FOR OSCILLATORS AND REAL-TIME CLOCK APPLICATIONS
(FR) RÉSONATEUR MEMS À RESSORTS COMPOSITES POUR OSCILLATEURS ET APPLICATIONS D'HORLOGE EN TEMPS RÉEL
Abstract: front page image
(EN)A compound spring MEMS resonator includes a resonator body constructed using one or more spring unit cells forming a compound spring block (55,95) and one or more compound spring blocks (54a) forming the resonator body. Each compound spring block is anchored (56, 58) at nodal points to ensure a high quality factor. The resonator body further includes masses (60a, 60b, 94a, 94b) attached to the open ends of the compound spring block and capacitively coupled to drive/sense electrodes (66, 68). The dimensions of the spring unit cells, the number of spring unit cells for a compound spring block, the size and weight of the masses, and the length and width of the support beams are selected to realize a desired resonant frequency. Multiple resonator units may be connected in parallel to form the resonator body (90). Meanwhile, the number of compound spring blocks is selected to tune the desired electrical characteristics, such as impedance, of the MEMS resonator. Release holes (94) may be used to adjust the weight of the resonator body.
(FR)La présente invention concerne un résonateur MEMS à ressorts composites qui comprend un corps de résonateur construit à l'aide d'une ou de plusieurs cellules unitaires à ressorts formant un bloc de ressorts composites (55, 95) et un ou plusieurs blocs de ressorts composites (54a) formant le corps de résonateur. Chaque bloc de ressorts composites est ancré (56, 58) au niveau de points nodaux pour assurer un facteur de qualité élevé. Le corps de résonateur comprend en outre des masses (60a, 60b, 94a, 94b) fixées aux extrémités ouvertes du bloc de ressorts composites et couplées de manière capacitive à des électrodes de commande/de détection (66, 68). Les dimensions des cellules unitaires à ressorts, le nombre de cellules unitaires à ressorts pour un bloc de ressorts composites, la taille et le poids des masses, et la longueur et la largeur des montants de support sont choisis de façon à réaliser une fréquence de résonance voulue. De multiples unités de résonateur peuvent être connectées en parallèle afin de former le corps de résonateur (90). Pendant ce temps, le nombre de blocs de ressorts composites est choisi pour accorder les caractéristiques électriques souhaitées, telles que l'impédance, du résonateur MEMS. Des trous de libération (94) peuvent être utilisés pour ajuster le poids du corps de résonateur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)