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1. (WO2016063464) SURFACE PLATE TRANSPORT DOLLY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/063464    International Application No.:    PCT/JP2015/005024
Publication Date: 28.04.2016 International Filing Date: 02.10.2015
IPC:
B24B 37/34 (2012.01), H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD. [JP/JP]; 2-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP).
FUJIKOSHI MACHINERY CORP. [JP/JP]; 1650, Kiyono, Matsushiro-machi, Nagano-shi, Nagano 3811233 (JP)
Inventors: SATO, Michito; (JP).
KANAI, Yosuke; (JP)
Agent: YOSHIMIYA, Mikio; (JP)
Priority Data:
2014-215583 22.10.2014 JP
Title (EN) SURFACE PLATE TRANSPORT DOLLY
(FR) CHARIOT DE TRANSPORT DE PLAQUE DE SURFACE
(JA) 定盤運搬台車
Abstract: front page image
(EN)The present invention is a surface plate transport dolly that is for transporting a surface plate that has been removed from a polishing device or a surface plate that is to be installed on the polishing device. The surface plate transport dolly is provided with a surface plate holding unit that is for holding the surface plate, with a support stand that supports the surface plate holding unit from the bottom side, with an elevation mechanism that raises/lowers the surface plate holding unit, and with a tilting mechanism that tilts the surface plate holding unit that holds the surface plate. The surface plate transport dolly is characterized by being capable of transporting the surface plate while the surface plate holding unit that holds the surface plate has been tilted by the tilting mechanism. Thereby provided is a surface plate transport dolly that has a narrow width when transporting a surface plate and that can narrow the width of a path for transporting the surface plate.
(FR)La présente invention porte sur un chariot de transport de plaque de surface, lequel chariot sert à transporter une plaque de surface qui a été retirée à partir d'un dispositif de polissage ou une plaque de surface qui doit être installée sur le dispositif de polissage. Le chariot de transport de plaque de surface comporte une unité de soutien de plaque de surface qui sert à maintenir la plaque de surface, avec un montant de support qui soutient l'unité de maintien de plaque de surface à partir du côté inférieur, avec un mécanisme d'élévation qui élève/abaisse l'unité de maintien de plaque de surface, et avec un mécanisme d'inclinaison qui incline l'unité de maintien de plaque de surface qui maintient la plaque de surface. Le chariot de transport de plaque de surface est caractérisé en ce qu'il est apte à transporter la plaque de surface tandis que l'unité de maintien de plaque de surface qui maintient la plaque de surface a été inclinée par le mécanisme d'inclinaison. Il est ainsi procuré un chariot de transport de plaque de surface qui a une largeur étroite lors du transport d'une plaque de surface, et qui peut rétrécir la largeur d'une trajectoire pour transporter la plaque de surface.
(JA) 本発明は、研磨装置から取り外した定盤、又は前記研磨装置に取り付けるための前記定盤を運搬するための定盤運搬台車であって、該定盤運搬台車は、前記定盤を保持するための定盤保持部と、該定盤保持部を下側から支持する支持台と、前記定盤保持部の昇降を行う昇降機構と、前記定盤を保持した前記定盤保持部を傾ける傾け機構を具備し、前記定盤を保持した前記定盤保持部を前記傾け機構で傾けた状態で、前記定盤を運搬できるものであることを特徴とする定盤運搬台車である。これにより、定盤を運搬する際の幅が狭く、定盤を運搬するための通路の幅を狭くすることができる定盤運搬台車が提供される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)