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Pub. No.:    WO/2016/063407    International Application No.:    PCT/JP2014/078310
Publication Date: 28.04.2016 International Filing Date: 24.10.2014
G01Q 90/00 (2010.01)
Applicants: SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511 (JP)
Inventors: IKEDA, Yuichiro; (JP)
Agent: KASHIMA, Yoshio; (JP)
Priority Data:
(JA) 走査型プローブ顕微鏡
Abstract: front page image
(EN)In order to provide a scanning probe microscope capable of eliminating influence of vibration noise and obtaining, accurately and with high resolution, surface information about a sample S, this scanning probe microscope 1 comprises: a body unit 10 having a cantilever 21 that has a probe 21a, a sensor 23 for detecting displacement of the cantilever 21, an XYZ drive mechanism 25 for moving the cantilever 21 or the sample S, and a vibration isolation mechanism 12; and a control unit 30 for controlling the XYZ drive mechanism 25 to acquire surface information about a measured area of the sample S. The scanning probe microscope 1 further comprises: a wireless stand 60 having a power feeding coil 63 and a stand-side transmission/reception portion 64; and a power supply signal cable 42 connecting the wireless stand 60 and the control unit 30. The body unit 10 has: a high voltage generating circuit 15 for driving the XYZ drive mechanism 25; a power receiving coil 13; and a body-unit-side transmission/reception portion 14 for communicating with the stand-side transmission/reception portion 64.
(FR)Afin de proposer un microscope à sonde à balayage capable d'éliminer l'influence du bruit de vibration et d'obtenir, avec précision et avec une résolution élevée, des informations de surface concernant un échantillon S, l'invention concerne un microscope à sonde à balayage 1 qui comprend : une unité de corps 10 ayant une partie en porte-à-faux 21 qui possède une sonde 21a, un capteur 23 pour détecter le déplacement de la partie en porte-à-faux 21, un mécanisme d'entraînement XYZ 25 pour déplacer la partie en porte-à-faux 21 ou l'échantillon S, et un mécanisme d'isolation contre les vibrations 12 ; une unité de commande 30 pour commander le mécanisme d'entraînement XYZ 25 pour acquérir des informations de surface concernant une zone mesurée de l'échantillon S. Le microscope à sonde à balayage 1 comprend en outre : un support sans fil 60 ayant une bobine d'alimentation en énergie 63 et une partie d'émission/réception côté support 64 ; un câble de signal d'alimentation électrique 42 reliant le support sans fil 60 et l'unité de commande 30. L'unité de corps 10 comprend : un circuit de génération de haute tension 15 pour entraîner le mécanisme d'entraînement XYZ 25 ; une bobine de réception d'énergie 13 ; une partie d'émission/réception côté d'unité de corps 14 pour communiquer avec la partie d'émission/réception côté support 64.
(JA) 振動ノイズの影響を排して試料Sの表面情報を正確かつ高分解能に得ることが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供するために、探針21aを有するカンチレバー21、カンチレバー21の変位を検出するセンサ23、カンチレバー21又は試料Sを移動させるXYZ駆動機構25、除振機構12を有する本体部10と、XYZ駆動機構25を制御し試料Sの測定範囲の表面情報を取得する制御部30とを備える走査型プローブ顕微鏡1であって、給電コイル63と、スタンド側送受信部64とを有するワイヤレススタンド60と、ワイヤレススタンド60と制御部30とを接続する電源信号ケーブル42とをさらに備え、本体部10は、XYZ駆動機構25を駆動するための高電圧発生回路15、受電コイル13、スタンド側送受信部64と通信するための本体部側送受信部14を有した構成とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)