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1. (WO2016061070) UNIQUE OBLIQUE LIGHTING TECHNIQUE USING A BRIGHTFIELD DARKFIELD OBJECTIVE AND IMAGING METHOD RELATING THERETO
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2016/061070 International Application No.: PCT/US2015/055283
Publication Date: 21.04.2016 International Filing Date: 13.10.2015
IPC:
G02B 5/00 (2006.01) ,G02B 21/12 (2006.01) ,G02B 21/08 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5
Optical elements other than lenses
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
06
Means for illuminating specimen
08
Condensers
12
affording bright-field illumination
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
21
Microscopes
06
Means for illuminating specimen
08
Condensers
Applicants: NANOTRONICS IMAGING, INC.[US/US]; 2251 Front Street, Suite 110 P.O. Box 306 Cuyahoga Falls, Ohio 44223, US
Inventors: PUTMAN, Matthew C.; US
PUTMAN, John B.; US
ORLANDO, Julie A.; US
BULMAN, Joseph G.; US
Agent: WEBER, Mark; US
Priority Data:
62/063,56414.10.2014US
Title (EN) UNIQUE OBLIQUE LIGHTING TECHNIQUE USING A BRIGHTFIELD DARKFIELD OBJECTIVE AND IMAGING METHOD RELATING THERETO
(FR) TECHNIQUE D'ÉCLAIRAGE OBLIQUE UNIQUE À L'AIDE D'UN OBJECTIF D'ÉCLAIRAGE À FOND CLAIR ET À FOND NOIR ET PROCÉDÉ D'IMAGERIE S'Y RAPPORTANT
Abstract:
(EN) A process is provided for imaging a surface of a specimen with an imaging system that employs a BD objective having a darkfield channel and a bright field channel, the BD objective having a circumference. The specimen is obliquely illuminated through the darkfield channel with a first arced illuminating light that obliquely illuminates the specimen through a first arc of the circumference. The first arced illuminating light reflecting off of the surface of the specimen is recorded as a first image of the specimen from the first arced illuminating light reflecting off the surface of the specimen, and a processor generates a 3D topography of the specimen by processing the first image through a topographical imaging technique. Imaging apparatus is also provided as are further process steps for other embodiments.
(FR) L'invention concerne un procédé d'imagerie d'une surface d'un échantillon au moyen d'un système d'imagerie qui utilise un objectif à fond clair ayant un canal à fond noir et un canal à fond clair, l'objectif à fond clair ayant une circonférence. L'échantillon est éclairé de manière oblique au travers du canal à fond noir avec une première lumière d'éclairage en forme d'arc qui illumine l'échantillon de manière oblique par un premier arc de la circonférence. La première lumière d'éclairage en forme d'arc réfléchissant en provenance de la surface de l'échantillon est enregistrée sous la forme d'une première image de l'échantillon à partir de la première lumière d'éclairage en forme d'arc se réfléchissant sur la surface de l'échantillon, et un processeur génère une topographie 3D de l'échantillon par traitement de la première image par l'intermédiaire d'une technique d'imagerie topographique. L'invention concerne également un appareil d'imagerie ainsi que d'autres étapes de procédé pour d'autres modes de réalisation.
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European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)