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1. (WO2016060808) APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING THICKNESS OF A CRYSTALLINE SHEET GROWN ON A MELT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/060808    International Application No.:    PCT/US2015/051709
Publication Date: 21.04.2016 International Filing Date: 23.09.2015
IPC:
C30B 13/28 (2006.01), C30B 29/06 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930 (US)
Inventors: KELLERMAN, Peter L.; (US).
CARLSON, Frederick M.; (US).
MORRELL, David; (US).
MACKINTOSH, Brian; (US).
DESAI, Nandish; (US)
Agent: DAISAK, Daniel N.; (US)
Priority Data:
14/517,217 17.10.2014 US
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING THICKNESS OF A CRYSTALLINE SHEET GROWN ON A MELT
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE L'ÉPAISSEUR D'UNE FEUILLE CRISTALLINE EN CROISSANCE SUR UNE MASSE FONDUE
Abstract: front page image
(EN)An apparatus may include a crucible configured to contain the melt, the melt having an exposed surface separated from a floor of the crucible by a first distance, a housing comprising a material that is non-contaminating to the melt, the housing comprising a plurality of sidewalls and a top that are configured to contact the melt, and a plurality of heating elements isolated from the melt and disposed along a transverse direction perpendicular to a pulling direction of the crystalline sheet, the plurality of heating elements being individually powered, wherein the plurality of heating elements are disposed at a second set of distances from the exposed surface of the melt that are less than the first distance, and wherein the plurality of heating elements are configured to vary a heat flux profile along the transverse direction when power is supplied individually to the plurality of heating elements.
(FR)La présente invention concerne un appareil pouvant comporter un creuset conçu pour contenir la masse fondue, ladite masse fondue présentant une surface exposée séparée d'un plancher du creuset par une première distance, un boîtier constitué d'un matériau qui n'est pas susceptible de contaminer la masse fondue, le boîtier comportant une pluralité de parois latérales et une partie supérieure conçues pour entrer en contact avec la masse fondue, et une pluralité d'éléments chauffants isolés de la masse fondue et disposés le long d'une direction transversale perpendiculaire à une direction de tirage de la feuille cristalline, la pluralité d'éléments chauffants étant alimentés individuellement, la pluralité d'éléments chauffants étant disposés au niveau d'un second ensemble de distances par rapport à la surface exposée de la masse fondue qui sont inférieures à la première distance, et la pluralité d'éléments chauffants sont conçus de manière à faire varier un profil de flux de chaleur le long de la direction transversale lorsqu'on alimente individuellement la pluralité d'éléments chauffants.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)