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1. (WO2016059768) FOIL TRAP AND EXTREME-ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE APPARATUS FOR MASK INSPECTION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2016/059768 International Application No.: PCT/JP2015/005060
Publication Date: 21.04.2016 International Filing Date: 05.10.2015
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G03F 1/84 (2012.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
Applicants: USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA[JP/JP]; 2-6-1, Ote-machi, Chiyoda-ku, Tokyo 1008150, JP
Inventors: YABUTA, Hironobu; JP
Agent: KONISHI, Kay; JP
Priority Data:
2014-21051215.10.2014JP
Title (EN) FOIL TRAP AND EXTREME-ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE APPARATUS FOR MASK INSPECTION
(FR) PIÈGE À FEUILLES ET APPAREIL DE SOURCE DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME POUR UNE INSPECTION DE MASQUE
(JA) ホイルトラップ及びマスク検査用極端紫外光光源装置
Abstract: front page image
(EN) Disclosed are a foil trap capable of properly capturing debris without the overall structure thereof being made unnecessarily larger, and an extreme-ultraviolet light source apparatus for mask inspection provided with the foil trap. A debris trap (13) is disposed near plasma, passes a light beam formed by extracting a portion of the light radiating from the plasma at a prescribed solid angle, and, of the debris generated by the plasma, captures the debris traveling in the direction in which the light beam travels. The debris trap (13) includes a stationary foil trap (40). The stationary foil trap (40) includes a plurality of foils (41) and a fixing material (fixing frame) (42) for securing the plurality of foils (41). The plurality of foils (41) has a size corresponding to the transmission area of the light beam and is arranged along the principal ray of the light beam.
(FR) L'invention concerne un piège à feuilles capable de capturer correctement des débris sans agrandir inutilement la structure globale, et un appareil de source de lumière ultraviolette extrême pour une inspection de masque fourni avec le piège à feuilles. Un piège à débris (13) disposé à proximité d'un plasma permet le passage d'un faisceau de lumière extrait à un angle solide prescrit sous la forme d'une partie de la lumière émise à partir du plasma, et se déplaçant dans la direction du faisceau de lumière en mouvement. Le piège à débris (13) comprend un piège à feuilles (40) immobile. Le piège à feuilles (40) immobile comprend une pluralité de feuilles (41) et un matériau de fixation (cadre de fixation) (42) pour fixer la pluralité de feuilles (41). La pluralité de feuilles (41) a une taille correspondant à la zone d'émission du faisceau de lumière et est agencée le long du rayon principal du faisceau de lumière.
(JA)  必要以上に大型化することなく、適切にデブリを捕捉することができるホイルトラップ、及びそれを備えたマスク検査用極端紫外光光源装置が開示される。デブリトラップ(13)は、プラズマの近傍に配置され、プラズマから放射される光の一部を所定の立体角で取り出した光線束を通過し、当該プラズマから発生するデブリのうち当該光線束の進行方向に進行するデブリを捕捉する。デブリトラップ(13)は、固定式ホイルトラップ(40)を有し、固定式ホイルトラップ(40)は、複数のホイル(41)と、複数のホイル(41)を固定する固定部材(固定枠)(42)と、を有する。複数のホイル(41)は、上記光線束の通過領域に相当する大きさを有し、当該光線束の主光線上に配置されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)