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1. (WO2016059745) IMPRINT APPARATUS, IMPRINT METHOD, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/059745    International Application No.:    PCT/JP2015/004323
Publication Date: 21.04.2016 International Filing Date: 27.08.2015
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
Inventors: YAEGASHI, Kenji; (JP)
Agent: TAKAOKA, Ryoichi; (JP)
Priority Data:
2014-211332 16.10.2014 JP
Title (EN) IMPRINT APPARATUS, IMPRINT METHOD, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL POUR EMPREINTES, PROCÉDÉ POUR EMPREINTES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ARTICLES
Abstract: front page image
(EN)An imprint apparatus includes a substrate holding unit (4) configured to hold a substrate (6) and to be movable, a coating unit (7) configured to apply an imprint material (8) to the substrate (6), and a mold foreign matter removal unit (3) provided in the substrate holding unit (4) and configured to remove a foreign matter on a surface of the mold (2). The mold foreign matter removal unit (3) removes the foreign matter on the surface of the mold (2) by ejecting an ejection material toward the mold (2) after the imprint material (8) is applied to the substrate (6) by the coating unit (7) and before the mold (2) is brought into contact with the imprint material (8) applied to the substrate (6).
(FR)L'invention concerne un appareil pour empreintes comprenant une unité (4) de maintien de substrat configurée pour maintenir un substrat (6) et pour pouvoir être déplacée, une unité (7) de revêtement configurée pour appliquer un matériau (8) pour empreintes au substrat (6), et une unité (3) d'élimination de corps étrangers du moule placée dans l'unité (4) de maintien de substrat et configurée pour éliminer un corps étranger présent sur une surface du moule (2). L'unité (3) d'élimination de corps étrangers du moule élimine le corps étranger présent sur la surface du moule (2) en éjectant un matériau d'éjection en direction du moule (2) après que le matériau (8) pour empreintes a été appliqué au substrat (6) par l'unité (7) de revêtement et avant que le moule (2) ne soit amené au contact du matériau (8) pour empreintes appliqué au substrat (6).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)