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1. (WO2016059672) X-RAY THIN FILM INSPECTION DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/059672    International Application No.:    PCT/JP2014/077335
Publication Date: 21.04.2016 International Filing Date: 14.10.2014
IPC:
G01N 23/20 (2006.01), G01N 23/223 (2006.01)
Applicants: RIGAKU CORPORATION [JP/JP]; 3-9-12, Matsubara-cho, Akishima-shi, Tokyo 1968666 (JP)
Inventors: OGATA Kiyoshi; (JP).
YOSHIHARA Sei; (JP).
KINEFUCHI Takao; (JP).
UMEGAKI Shiro; (JP).
ASANO Shigematsu; (JP).
HORADA Katsutaka; (JP).
YOSHIDA Muneo; (JP).
MOTONO Hiroshi; (JP).
TAKAHASHI Hideaki; (JP).
HIGUCHI Akifusa; (JP).
OMOTE Kazuhiko; (JP).
ITO Yoshiyasu; (JP).
KAWAHARA Naoki; (JP).
NAKANO Asao; (JP)
Agent: YAMAMOTO Toshitake; (JP)
Priority Data:
Title (EN) X-RAY THIN FILM INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE CONTRÔLE PAR RAYONS X DE FILM MINCE
(JA) X線薄膜検査装置
Abstract: front page image
(EN)This x-ray thin film inspection device is provided with: an x-ray irradiation unit (40) that is mounted on a first turning arm (32); an x-ray detector (50) that is mounted on a second turning arm (33); and an x-ray fluorescence detector (60) that detects x-ray fluorescence that is generated from an inspection target due to x-ray irradiation. The x-ray irradiation unit (40) includes: an x-ray optical element (43) that is constituted by a confocal mirror, that receives x-rays that are radiated from an x-ray tube (42), that reflects a plurality of convergent x-rays that have been monochromatized at a specific wavelength, and that makes the plurality of convergent x-rays converge on a preset focal point; and a slit mechanism (46) that, from among the plurality of convergent x-rays that have been reflected from the x-ray optical element (43), transmits an arbitrary number of convergent x-rays.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de contrôle par rayons X de film mince qui comprend : une unité (40) d'émission de rayons X qui est montée sur un premier bras (32) tournant; un détecteur (50) de rayons X qui est monté sur un second bras (33) tournant; et un détecteur (60) de fluorescence de rayons X (60) qui détecte la fluorescence de rayons X qui est générée à partir d'une cible de contrôle due à l'émission de rayons X. L'unité (40) d'émission de rayons X comprend : un élément (43) optique de rayons X qui est constitué d'un miroir confocal, qui reçoit les rayons X qui sont émis à partir d'un tube (42) à rayons X, qui réfléchit une pluralité de rayons X convergents qui ont été monochromatisés à une longueur d'onde spécifique et qui amène la pluralité de rayons X convergents à converger à un point focal prédéfini; et un mécanisme (46) à fentes qui transmet un nombre arbitraire de rayons X convergents, parmi la pluralité de rayons x convergents qui ont été réfléchis par l'élément (43) optique de rayons X.
(JA) 本発明のX線薄膜検査装置は、第1の旋回アーム32に搭載されたX線照射ユニット40と、第2の旋回アーム33に搭載されたX線検出器50と、X線の照射により検査対象から発生する蛍光X線を検出する蛍光X線検出器60と、を備えている。そして、X線照射ユニット40は、X線管42から放射されたX線を入射し、特定波長に単色化した複数本の収束X線を反射し、これら複数本の収束X線をあらかじめ設定した焦点に収束させる、コンフォーカルミラーで構成されたX線光学素子43と、このX線光学素子43から反射してきた複数本の収束X線のうち、任意本数の収束X線を通過させるスリット機構46とを含んでいる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)