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1. (WO2016058980) METHOD FOR PRODUCING A COMPACT MICRO- OR NANOCAPACITOR, AND COMPACT MICRO- OR NANOCAPACITOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/058980    International Application No.:    PCT/EP2015/073540
Publication Date: 21.04.2016 International Filing Date: 12.10.2015
IPC:
H01G 4/32 (2006.01), H01G 4/008 (2006.01)
Applicants: LEIBNIZ-INSTITUT FÜR FESTKÖRPER- UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E.V. [DE/DE]; Helmholtzstraße 20 01069 Dresden (DE)
Inventors: SCHMIDT, Oliver G.; (DE)
Agent: RAUSCHENBACH, Marion; (DE)
Priority Data:
10 2014 220 669.3 13.10.2014 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES KOMPAKTEN MIKRO- ODER NANO-KONDENSATORS UND KOMPAKTER MIKRO- ODER NANO-KONDENSATOR
(EN) METHOD FOR PRODUCING A COMPACT MICRO- OR NANOCAPACITOR, AND COMPACT MICRO- OR NANOCAPACITOR
(FR) PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION D'UN MICROCONDENSATEUR OU D'UN NANOCONDENSATEUR COMPACT ET MICROCONDENSATEUR OU NANOCONDENSATEUR COMPACT
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Mikroelektronik und betrifft einen kompakten Kondensator, wie er beispielsweise in Hochfrequenz-Schwingkreisen und -filtern zum Einsatz kommen kann. Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Angabe eines kompakten Mikro-oder Nano-Kondensators, der eine zuverlässige und einfache Kontaktierung der Funktionsschichten aufweist. Gelöst wird die Aufgabe durch ein Verfahren zur Herstellung eines kompakten Mikro- oder Nano-Kondensators, bei dem auf einem Substrat ein Schichtstapel aus mindestens zwei Funktionsschichten und zwei Schichten aus einem zweidimensionalen Material und aus mindestens zwei Schichten aus einem elektrisch isolierenden Material angeordnet wird, und die mindestens zwei Funktionsschichten mit den Schichten aus einem zweidimensionalen Material quer zur Aufrollrichtung auf je einer Seite abwechselnd über die Breite des Schichtstapels hinausreichend angeordnet werden, und nachfolgend der Schichtstapel aufgerollt und die hinausreichenden Schichten stoffschlüssig miteinander verbunden werden.
(EN)The invention concerns the field of microelectronics and relates to a compact capacitor, which can be used, for example, in high-frequency oscillating circuits and in high-frequency filters. The problem addressed by the invention is that of specifying a compact micro- or nanocapacitor that has reliable and simple contacting of the functional layers. This problem is solved by means of a method for producing a compact micro- or nanocapacitor, in which method a layer stack consisting of at least two functional layers and two layers of a two-dimensional material and consisting of at least two layers of an electrically insulating material is arranged on a substrate, and the at least two functional layers and the layers of a two-dimensional material are arranged protruding beyond the width of the layer stack transversely to the rolling direction on one side each alternately, and then the layer stack is rolled up and the protruding are integrally bonded to each other.
(FR)L'invention se rapporte au domaine de la microélectronique et concerne un condensateur compact, tel qu'il peut par exemple être utilisé dans les circuits oscillants et filtres haute fréquence. La présente invention vise à fournir un microcondensateur ou un nanocondensateur compact qui présente une mise en contact fiable et simple des couches fonctionnelles. A cet effet, l'invention concerne un procédé pour la fabrication d'un microcondensateur ou d'un nanocondensateur compact, selon lequel une pile de couches, constituée par au moins deux couches fonctionnelles et deux couches d'un matériau bidimensionnel et par au moins deux couches en un matériau électriquement isolant, est disposée sur un substrat et lesdites au moins deux couches fonctionnelles avec les couches en matériau bidimensionnel sont disposées d'un côté et de l'autre, en alternance, de manière à dépasser de la largeur de la pile de couches transversalement par rapport au sens d'enroulement, et la pile de couches est ensuite enroulée et les couches qui dépassent sont reliées les unes aux autres par liaison de matière.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)