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1. (WO2016057551) MOBILE CONNECTIVITY AND CONTROL OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/057551    International Application No.:    PCT/US2015/054290
Publication Date: 14.04.2016 International Filing Date: 06.10.2015
IPC:
G05B 19/409 (2006.01)
Applicants: LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, California 94538 (US)
Inventors: PATRICK, Roger; (US).
HUANG, Chung Ho; (US).
GOSSELIN, Simon; (US).
WONG, Vincent; (US).
RAMNARINE, Ronald; (US).
NEWTON, Neal K.; (US).
SHAH, Mukesh; (US).
HOVERSTEN, Kerwin; (US).
AHRENS, Bob; (US).
MORA, Marco; (US)
Agent: AUSTIN, James E.; (US)
Priority Data:
62/062,763 10.10.2014 US
Title (EN) MOBILE CONNECTIVITY AND CONTROL OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
(FR) CONNECTIVITÉ MOBILE ET COMMANDE D'ÉQUIPEMENT DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEURS
Abstract: front page image
(EN)Integration of semiconductor tool maintenance operations on mobile devices to allow technicians to more accurately perform semiconductor tool maintenance and to allow more accurate analysis of data to improve maintenance procedures to be more repeatable, consistent, and efficient. Remote control of maintenance operations for the semiconductor tool via a portable electronic device decreases the time required to service semiconductor tools and thus increase throughput.
(FR)L'invention concerne l'intégration d'opérations d'entretien d'outil semi-conducteur sur des dispositifs mobiles pour permettre à des techniciens d'effectuer de manière plus précise un entretien d'outil semi-conducteur et pour permettre une analyse plus précise des données afin d'améliorer des procédures d'entretien et les rendre plus aptes à être répétées, cohérentes, et efficaces. La commande à distance d'opérations d'entretien pour l'outil semi-conducteur par le biais d'un dispositif électronique portable diminue le temps requis pour entretenir des outils semi-conducteurs et augmente ainsi le rendement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)