Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persist, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO2016056887) HUMIDITY SENSOR WITH NANOPOROUS POLYIMIDE MEMBRANES AND A METHOD OF FABRICATION THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2016/056887 International Application No.: PCT/MY2015/000083
Publication Date: 14.04.2016 International Filing Date: 07.10.2015
IPC:
G01N 27/22 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
27
Investigating or analysing materials by the use of electric, electro-chemical, or magnetic means
02
by investigating impedance
22
by investigating capacitance
Applicants:
LEE, Wai Yee [MY/MY]; MY
MOHESN, Nabipoor [IR/MY]; MY
MIMOS BERHAD [MY/MY]; Technology Park of Malaysia Bukit Jalil Kuala Lumpur, 57000, MY
Inventors:
LEE, Wai Yee; MY
MOHESN, Nabipoor; MY
SUHAIRI, Bin Saharudin; MY
DANIEL, Bien Chia Sheng; MY
SURAYA, Binti Sulaiman; MY
ANIFAH, Binti Zakaria; MY
Agent:
MANIAM, Mahalingam; IP Rights (M) Sdn Bhd No. 7-M, Biz Avenue, Neo Cyber Lingkaran Cyber Point Barat, 63000 Cyberjaya, Selangor Darul Ehsan, MY
Priority Data:
PI 201400287509.10.2014MY
Title (EN) HUMIDITY SENSOR WITH NANOPOROUS POLYIMIDE MEMBRANES AND A METHOD OF FABRICATION THEREOF
(FR) CAPTEUR D’HUMIDITÉ AYANT DES MEMBRANES DE POLYIMIDE NANOPOREUSES, ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
(EN) The present invention relates to an improved humidity sensor (100) with nanoporous polyimide membrane as the sensing element more particularly, to a humidity sensor and method of fabricating the humidity sensor (100) with polyimide membrane to improve sensor's response to changes in environmental humidity. One of the advantages of the present invention is that it enhances moisture absorption and desorption from the polyimide membrane to improve device response to changes in environmental humidity. Another advantage of the system and method of the present invention is that the formation of nanopores is independent of lithographic resolution. In addition, diameter of the pores can be accurately controlled as they are directly dependent on the diameter of the grown silicon nanowires which in turns is dependent on the thickness of the metal catalyst used.
(FR) La présente invention concerne un capteur d'humidité amélioré (100) ayant une membrane de polyimide nanoporeuse comme élément de détection et, plus particulièrement, un capteur d'humidité et un procédé de fabrication de capteur d'humidité (100) ayant une membrane de polyimide pour améliorer une réponse du capteur à des changements d'humidité environnementale. L'un des avantages de la présente invention est qu'elle améliore l'absorption et la désorption d'humidité de la membrane de polyimide pour améliorer une réponse de dispositif à des changements d'humidité environnementale. Un autre avantage du système et du procédé de la présente invention est que la formation de nanopores est indépendante de la résolution lithographique. De plus, le diamètre des pores peut être réglé avec précision, étant donné qu'ils dépendent directement du diamètre des nanofils de silicium produit qui, à son tour, dépend de l'épaisseur du catalyseur métallique utilisé.
front page image
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)