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1. (WO2016056419) PRESSURE SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2016/056419 International Application No.: PCT/JP2015/077294
Publication Date: 14.04.2016 International Filing Date: 28.09.2015
IPC:
G01L 9/00 (2006.01) ,H01L 29/84 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9
Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
29
Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; Capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof
66
Types of semiconductor device
84
controllable by variation of applied mechanical force, e.g. of pressure
Applicants:
国立大学法人東京大学 THE UNIVERSITY OF TOKYO [JP/JP]; 東京都文京区本郷七丁目3番1号 3-1, Hongo 7-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1138654, JP
セイコーインスツル株式会社 SEIKO INSTRUMENTS INC. [JP/JP]; 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 8, Nakase 1-chome, Mihama-ku, Chiba-shi, Chiba 2618507, JP
Inventors:
下山 勲 SHIMOYAMA Isao; JP
松本 潔 MATSUMOTO Kiyoshi; JP
高橋 英俊 TAKAHASHI Hidetoshi; JP
グェン ミン ジューン NGUYEN Minh-Dung; JP
内山 武 UCHIYAMA Takeshi; JP
大海 学 OUMI Manabu; JP
篠原 陽子 SHINOHARA Yoko; JP
須田 正之 SUDA Masayuki; JP
Agent:
志賀 正武 SHIGA Masatake; JP
Priority Data:
2014-20589006.10.2014JP
Title (EN) PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサ
Abstract:
(EN)  The present invention is a pressure sensor (1) provided with: a sensor body (2) having a cavity; a cantilever (3) having a lever body (20) and lever support parts (21A, 21B), and undergoing flexural deformation in response to a pressure differential between the cavity and the outside of the sensor body (2); and a displacement detection unit (4) for detecting displacement of the cantilever (3) on the basis of change in resistance value of a body resistor (31) formed on the lever body (20) and lever resistors (32) formed on the lever support parts (21A, 21B). On the lever support part (21A) is formed a demarcation groove (40) for demarcating the lever resistor (32) into a first resistor (32a) electrically connected in series to a detection electrode (35), and a second resistor (32b) located closer towards the other lever support part (21B) than the first resistor (32a). The first resistors (32a) of the lever support parts (21A, 21B) are electrically connected to the detection electrode (35) via parallel paths, namely, a first path (S1) routed through the body resistor (31), and a second path (S2) routed through the second resistor (32b).
(FR)  La présente invention concerne un capteur de pression (1) qui comprend : un corps (2) de capteur ayant une cavité ; un microlevier (3) ayant un corps (20) de levier et des parties de support (21A, 21B) de levier et qui subit une déformation en flexion en réponse à un différentiel de pression entre la cavité et l'extérieur du corps (2) de capteur ; et une unité de détection de déplacement (4) destinée à détecter le déplacement du microlevier (3) sur la base d'un changement de la valeur de résistance d'une résistance (31) de corps formée sur le corps (20) de levier et des résistances (32) de levier formées sur les parties de support (21A, 21B) de levier. Sur la partie de support (21A) de levier est formée une rainure de délimitation (40) destinée à délimiter la résistance (32) de levier en une première résistance (32a) électriquement connectée en série à une électrode de détection (35) et en une seconde résistance (32b) située davantage vers l'autre partie de support (21B) de levier que la première résistance (32a). Les premières résistances (32a) des parties de support (21A, 21B) de levier sont connectées électriquement à l'électrode de détection (35) par l'intermédiaire de chemins parallèles, à savoir un premier chemin (S1) tracé à travers la résistance (31) de corps et un second chemin (S2) tracé à travers la seconde résistance (32b).
(JA)  本発明は、キャビティを有するセンサ本体(2)と、レバー本体(20)及びレバー支持部(21A、21B)を有し、キャビティとセンサ本体(2)の外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバー(3)と、レバー本体(20)に形成された本体抵抗部(31)及びレバー支持部(21A、21B)に形成されたレバー抵抗部(32)の抵抗値変化に基づいてカンチレバー(3)の変位を検出する変位検出部(4)とを備える圧力センサ(1)である。レバー支持部(21A)には、レバー抵抗部(32)を、検出電極(35)に直列に電気接続される第1抵抗部(32a)と、第1抵抗部(32a)よりも隣接する他のレバー支持部(21B)寄りに位置する第2抵抗部(32b)と、に区画する区画溝(40)が形成されている。レバー支持部(21A、21B)の第1抵抗部(32a)は、本体抵抗部(31)を経由した第1経路(S1)と、第2抵抗部(32b)を経由した第2経路(S2)と、の並列経路を介して検出電極(35)に電気接続されている。
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)