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1. (WO2016056275) FILM FORMING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2016/056275 International Application No.: PCT/JP2015/067908
Publication Date: 14.04.2016 International Filing Date: 22.06.2015
Chapter 2 Demand Filed: 03.02.2016
IPC:
C23C 14/50 (2006.01) ,C23C 14/34 (2006.01)
Applicants: CANON ANELVA CORPORATION[JP/JP]; 2-5-1, Kurigi, Asao-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2158550, JP
Inventors: NOZAWA, Naoyuki; JP
MATSUKI, Nobuo; JP
SAKAMOTO, Reiji; JP
ISHIHARA, Masahito; JP
Agent: OHTSUKA, Yasunori; JP
Priority Data:
2014-20938010.10.2014JP
Title (EN) FILM FORMING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜装置
Abstract: front page image
(EN) The film forming device according to the present invention is provided with a chamber, a retaining part for retaining a substrate in the chamber, a drive part for moving the retaining part in which the substrate is retained so that the substrate passes through a film forming region in the chamber, a film forming part for supplying a film forming material to the film forming region and thereby forming a film on the substrate passing through the film forming region, and a cooling part for cooling the retaining part.
(FR) Le dispositif de formation de film d'après la présente invention comporte une chambre, une partie de retenue destinée à retenir un substrat dans la chambre, une partie d'entraînement destinée à déplacer la partie de retenue dans laquelle le substrat est retenu de telle façon que le substrat passe à travers une région de formation de film dans la chambre, une partie de formation de film destinée à délivrer un matériau de formation de film dans la région de formation de film et à former ainsi un film sur le substrat passant à travers la région de formation de film, et une partie de refroidissement destinée à refroidir la partie de retenue.
(JA) 成膜装置は、チャンバーと、前記チャンバーの中で基板を保持する保持部と、前記基板が前記チャンバーの中の成膜領域を通過するように前記基板を保持した前記保持部を移動させる駆動部と、前記成膜領域に成膜物質を供給することによって前記成膜領域を通過している前記基板に膜を形成する成膜部と、前記保持部を冷却する冷却部とを備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)