WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2016056107) PROJECTION DATA GENERATOR, MEASURING DEVICE, AND STRUCTURE MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/056107    International Application No.:    PCT/JP2014/077086
Publication Date: 14.04.2016 International Filing Date: 09.10.2014
IPC:
G01N 23/04 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventors: MIYAZAKI, Masaya; (JP).
YAMADA, Atsushi; (JP)
Agent: NAGAI, Fuyuki; (JP)
Priority Data:
Title (EN) PROJECTION DATA GENERATOR, MEASURING DEVICE, AND STRUCTURE MANUFACTURING METHOD
(FR) GÉNÉRATEUR DE DONNÉES DE PROJECTION, DISPOSITIF DE MESURE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE
(JA) 投影データ生成装置、計測装置および構造物の製造方法
Abstract: front page image
(EN)A projection data generator is provided with a radiation source, a detector that detects the radiation from the radiation source and outputs the detected data, a mount that is placed between the radiation source and the detector, and a generation unit that generates the projection data of an object to be measured. The generation unit generates the projection data of the object to be measured either based on first data that is output by the detector when the object to be measured is placed on the mount and second data that is output by the detector when the object to be measured is not placed on the mount, or based on the first data and estimated data which is the data estimated to be output by the detector when the mount on which the object to be measured is not placed is positioned between the radiation source and the detector.
(FR)L'invention concerne un générateur de données de projection qui comprend une source de rayonnement, un détecteur qui détecte le rayonnement provenant de la source de rayonnement et délivre les données détectées, un support qui est placé entre la source de rayonnement et le détecteur, et une unité de génération qui génère les données de projection d'un objet à mesurer. L'unité de génération génère les données de projection de l'objet à mesurer soit sur la base de premières données qui sont délivrées par le détecteur lorsque l'objet à mesurer est placé sur le support, et de secondes données qui sont délivrées par le détecteur lorsque l'objet à mesurer n'est pas placé sur le support, soit sur la base des premières données et de données estimées qui sont les données estimées pour être délivrées par le détecteur lorsque le support, sur lequel l'objet à mesurer n'est pas placé, est positionné entre la source de rayonnement et le détecteur.
(JA) 投影データ生成装置は、線源と、線源からの放射線を検出して検出データを出力する検出器と、線源と検出器との間に配置された載置部材と、被測定物の投影データを生成する生成部とを備え、生成部は、載置部材に被測定物が載置されたときに検出器によって出力された第1データと、載置部材に被測定物が載置されないときに検出器によって出力された第2データとに基づいて被測定物の投影データを生成するか、または、第1データと、線源と検出器との間に被測定物が載置されていない載置部材が位置している場合に検出器から出力されると推定される推定データとに基づいて被測定物の投影データを生成する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)