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1. (WO2016054648) SYSTEMS, DEVICES, AND METHODS TO REDUCE DIELECTRIC CHARGING IN MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS DEVICES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2016/054648 International Application No.: PCT/US2015/054043
Publication Date: 07.04.2016 International Filing Date: 05.10.2015
IPC:
B81B 7/02 (2006.01) ,B81B 5/00 (2006.01) ,B81C 1/00 (2006.01)
Applicants: WISPRY, INC.[US/US]; 20 Fairbanks, Suite 198 Irvine, CA 92618, US
Inventors: DEREUS, Dana; US
MORRIS, Arthur, S.; US
MOLINERO-GILES, David; US
Agent: WILSON, Jeffrey, L.; US
Priority Data:
62/059,82203.10.2014US
Title (EN) SYSTEMS, DEVICES, AND METHODS TO REDUCE DIELECTRIC CHARGING IN MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS DEVICES
(FR) SYSTÈMES, DISPOSITIFS ET PROCÉDÉS POUR RÉDUIRE LA CHARGE DIÉLECTRIQUE DANS DES DISPOSITIFS À MICROSYSTÈME ÉLECTROMÉCANIQUE
Abstract: front page image
(EN) The present subject matter relates to devices, systems, and methods for isolation of electrostatic actuators in MEMS devices to reduce or minimize dielectric charging. A tunable component can include a fixed actuator electrode positioned on a substrate, a movable actuator electrode carried on a movable component that is suspended over the substrate, one or more isolation bumps positioned between the fixed actuator electrode and the movable actuator electrode, and a fixed isolation landing that is isolated within a portion of the fixed actuator electrode that is at, near, and/or substantially aligned with each of the one or more isolation bumps. In this arrangement, the movable actuator electrode can be selectively movable toward the fixed actuator electrode, but the one or more isolation bumps can prevent contact between the fixed and movable actuator electrodes, and the fixed isolation landing can inhibit the development of an electric field in the isolation bump.
(FR) La présente invention concerne des dispositifs, des systèmes et des procédés d'isolation d'actionneurs électrostatiques dans des dispositifs à microsystème électromécanique (MEMS) pour diminuer ou réduire à un minimum la charge diélectrique. Un composant accordable peut comprendre une électrode d'actionneur fixe, positionnée sur un substrat, une électrode d'actionneur mobile, portée sur un composant mobile qui est suspendu au-dessus du substrat, une ou plusieurs bosses d'isolation, positionnées entre l'électrode d'actionneur fixe et l'électrode d'actionneur mobile, et une zone de réception d'isolation fixe qui est isolée à l'intérieur d'une partie de l'électrode d'actionneur fixe qui est située au niveau et/ou à proximité de chacune de la ou des bosses d'isolation et/ou sensiblement alignée sur celle-ci. Dans cet agencement, l'électrode d'actionneur mobile peut être sélectivement déplaçable vers l'électrode d'actionneur fixe, mais la ou les bosses d'isolation peuvent prévenir un contact entre les électrodes d'actionneur fixe et mobile, et la zone de réception d'isolation fixe peut empêcher le développement d'un champ électrique dans la bosse d'isolation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)