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Pub. No.:    WO/2016/052547    International Application No.:    PCT/JP2015/077588
Publication Date: 07.04.2016 International Filing Date: 29.09.2015
G02B 26/08 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), G02B 26/10 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H01L 41/113 (2006.01), H01L 41/187 (2006.01), H02N 2/00 (2006.01)
Applicants: FUJIFILM CORPORATION [JP/JP]; 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1068620 (JP)
Inventors: NAONO, Takayuki; (JP)
Agent: MATSUURA, Kenzo; (JP)
Priority Data:
2014-201650 30.09.2014 JP
(JA) ミラー駆動装置及びその駆動方法
Abstract: front page image
(EN)Provided are a mirror drive device and a drive method therefor which are capable of improving displacement efficiency and obtaining a sufficiently large displacement angle even when a sensor unit is provided. A piezoelectric actuator unit 16 for generating a drive force for rotating a mirror unit 12 around a rotational axis RA is equipped with a first actuator unit 30 and a second actuator unit 40 having double-supported structures having affixed end sections on both sides thereof in the axial direction of the rotational axis RA. An upper electrode and a lower electrode of the first actuator unit 30 and the second actuator unit 40 are divided according to the stress distribution of the principal stress inside a piezoelectric body during resonant mode oscillations. Stress is produced in opposite directions by a piezoelectric body section corresponding to the locations of a first piezoelectric transducer 81 and third piezoelectric transducers 103A, 103B, and a piezoelectric body section corresponding to the locations of second piezoelectric transducers 82A, 82B and a fourth piezoelectric transducer 104.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'entraînement de miroir et son procédé d'entraînement, qui peuvent améliorer une efficacité de déplacement et obtenir un angle de déplacement suffisamment grand même lorsqu'une unité de capteur est fournie. Une unité d'actionneur piézoélectrique (16) pour générer une force d'entraînement pour tourner une unité de miroir (12) autour d'un axe de rotation RA comprend une première unité d'actionneur (30) et une seconde unité d'actionneur (40) ayant des structures à double support ayant des sections d'extrémité fixées sur leurs deux côtés dans la direction axiale de l'axe de rotation RA. Une électrode supérieure et une électrode inférieure de la première unité d'actionneur (30) et la seconde unité d'actionneur (40) sont divisées selon la distribution de contrainte de la contrainte principale à l'intérieur d'un corps piézoélectrique pendant des oscillations en mode résonant. Une contrainte est produite dans des directions opposées par une section de corps piézoélectrique correspondant aux emplacements d'un premier transducteur piézoélectrique (81) et de troisièmes transducteurs piézoélectriques (103A, 103B), et une section de corps piézoélectrique correspondant aux emplacements de deuxièmes transducteurs piézoélectriques (82A, 82B) et d'un quatrième transducteur piézoélectrique (104).
(JA) 変位効率を向上させることができ、センサ部を設けた場合でも十分に大きな変位角度を得ることができるミラー駆動装置及びその駆動方法を提供する。ミラー部12を回転軸Rの周りに回動させる駆動力を発生させる圧電アクチュエータ部16は、回転軸Rの軸方向の両側の基端部が固定された両持ち梁構造の第一アクチュエータ部30及び第二アクチュエータ部40を備える。第一アクチュエータ部30と第二アクチュエータ部40の上部電極と下部電極は、共振モード振動における圧電体内の主応力の応力分布に対応して分割されており、第一圧電変換部81及び第三圧電変換部103A、103Bの位置に対応する圧電体部分と第二圧電変換部82A、82B及び第四圧電変換部104の位置に対応する圧電体部分とは互いに逆方向の応力が生じる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)