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1. (WO2016051944) SUBSTRATE-STORING CONTAINER, LOAD PORT DEVICE, AND SUBSTRATE-PROCESSING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2016/051944 International Application No.: PCT/JP2015/071409
Publication Date: 07.04.2016 International Filing Date: 28.07.2015
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 85/86 (2006.01)
Applicants: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.[JP/JP]; Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
Inventors: HONSHO Kazuhiro; JP
TAKAHASHI Mitsukazu; JP
HATANO Akito; JP
HASHIMOTO Koji; JP
Agent: SUGITANI Tsutomu; JP
Priority Data:
2014-19869729.09.2014JP
Title (EN) SUBSTRATE-STORING CONTAINER, LOAD PORT DEVICE, AND SUBSTRATE-PROCESSING DEVICE
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRATS, DISPOSITIF D'ORIFICE DE CHARGEMENT ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS
(JA) 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置
Abstract: front page image
(EN)  A substrate-storing container 1 is provided with a case 2, shelf members 11, a lid 3, lid support members 23, and a substrate releasing mechanism 31. The case 2 has an opening A at the front surface thereof. The substrate releasing mechanism 31 has a contact part 33 in direct contact with substrates W. The contact part 33 is capable of moving relative to the lid support members 23. The lid support members 23 support the edges of the substrates W as a result of the lid 3 advancing towards the opening A, and the contact part 33 retracting towards the lid support members 23. The substrate releasing mechanism 31 releases the substrates W from the lid support members 23 as a result of the lid 3 retracting from the opening A, and the contact part 33 advancing towards the lid support members 23
(FR)  L'invention concerne un récipient 1 de stockage de substrats comportant un coffret 2, des éléments 11 d'étagères, un couvercle 3, des éléments 23 de soutien du couvercle, et un mécanisme 31 de séparation des substrats. Le coffret 2 est doté d'une ouverture A au niveau de sa surface avant. Le mécanisme 31 de séparation des substrats est doté d'une partie 33 de contact en contact direct avec des substrats W. La partie 33 de contact est susceptible de se déplacer par rapport aux éléments 23 de soutien du couvercle. Il est fait en sorte que les éléments 23 de soutien du couvercle soutiennent les extrémités des substrats W par une avance du couvercle 3 vers l'ouverture A et un retrait de la partie 33 de contact vers les éléments 23 de soutien du couvercle. Il est fait en sorte que le mécanisme 31 de séparation des substrats sépare les substrats W des éléments 23 de soutien du couvercle par un retrait du couvercle 3 par rapport à l'ouverture A et une avance de la partie 33 de contact vers les éléments 23 de soutien du couvercle.
(JA)  基板収納容器1は、筐体2と棚部材11と蓋3と蓋用支持部材23と基板離脱機構31を備える。筐体2は、その前面に開口Aを有する。基板離脱機構31は、基板Wと直接的に接触する接触部33を有する。接触部33は、蓋用支持部材23に対して移動可能である。蓋3が開口Aに向かって前進し、かつ、接触部33が蓋用支持部材23に対して後退することによって、蓋用支持部材23が基板Wの端部を支持する。蓋3が開口Aから後退し、かつ、接触部33が蓋用支持部材23に対して前進することによって、基板離脱機構31が蓋用支持部材23から基板Wを離す。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)