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1. (WO2016051023) TEMPERATURE COMPENSATED COMPOUND RESONATOR
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Pub. No.: WO/2016/051023 International Application No.: PCT/FI2015/050658
Publication Date: 07.04.2016 International Filing Date: 02.10.2015
IPC:
H03H 9/02 (2006.01)
H ELECTRICITY
03
BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
H
IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9
Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
02
Details
Applicants:
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY [FI/FI]; Vuorimiehentie 3 FI-02150 Espoo, FI
Inventors:
JAAKKOLA, Antti; FI
PEKKO, Panu; FI
PRUNNILA, Mika; FI
PENSALA, Tuomas; FI
Agent:
SEPPO LAINE OY; Itämerenkatu 3 B FI-00180 Helsinki, FI
Priority Data:
2014587003.10.2014FI
Title (EN) TEMPERATURE COMPENSATED COMPOUND RESONATOR
(FR) RÉSONATEUR COMBINÉ À COMPENSATION DE TEMPÉRATURE
Abstract:
(EN) The invention concerns microelectromechanical resonators. In particular, the invention provides a resonator comprising a support structure, a doped semiconductor resonator suspended to the support structure by at least one anchor, and actuator for exciting resonance into the resonator. According to the invention, the resonator comprises a base portion and at least one protrusion extending outward from the base portion and is excitable by said actuator into a compound resonance mode having temperature coefficient of frequency (TCF) characteristics, which are contributed by both the base portion and the at least one protrusion. The invention enables simple resonators, which are very well temperature compensated over a wide temperature range.
(FR) L'invention concerne des résonateurs microélectromécaniques. L'invention concerne plus particulièrement un résonateur comprenant une structure support, un résonateur en semiconducteur dopé suspendu à la structure support par au moins un élément d'ancrage, et un actionneur d'excitation de la résonance dans le résonateur. Selon l'invention, le résonateur comprend une partie de base et au moins une partie en saillie s'étendant vers l'extérieur depuis la partie de base, et il peut être excité par ledit actionneur dans un mode de résonance combiné possédant des caractéristiques de coefficient de température de la fréquence (TCF), lesquelles sont apportées à la fois par la partie de base et par l'au moins une partie en saillie. L'invention permet de réaliser des résonateurs simples, qui sont très bien compensés en température sur une large plage de températures.
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
US20160099702EP3202034CN107408933JP2017531947