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1. (WO2016050832) MECHANICAL STRUCTURE COMPRISING AN ACTUATOR AND MECHANICAL AMPLIFICATION MEANS, AND PRODUCTION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/050832    International Application No.:    PCT/EP2015/072536
Publication Date: 07.04.2016 International Filing Date: 30.09.2015
IPC:
B81B 3/00 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H02N 2/00 (2006.01)
Applicants: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES [FR/FR]; 25 rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" 75015 Paris (FR).
STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS [FR/FR]; 850, rue Jean Monnet F-38920 Crolles (FR) (US only).
UNIVERSITE GRENOBLE ALPES [FR/FR]; 621 avenue Centrale 38400 Saint Martin d'Heres (FR)
Inventors: CASSET, Fabrice; (FR).
BASROUR, Skandar; (FR).
CHAPPAZ, Cédrick; (FR).
DANEL, Jean-Sébastien; (FR)
Agent: ESSELIN, Sophie; (FR)
Priority Data:
1459430 02.10.2014 FR
Title (EN) MECHANICAL STRUCTURE COMPRISING AN ACTUATOR AND MECHANICAL AMPLIFICATION MEANS, AND PRODUCTION METHOD
(FR) STRUCTURE MECANIQUE COMPRENANT UN ACTIONNEUR ET DES MOYENS D'AMPLIFICATION MECANIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a mechanical structure comprising a stack containing an active substrate (10) and at least one actuator (20) suitable for generating vibrations in the region of said active substrate, said stack comprising a basic structure for the amplification of said vibrations (30), arranged between said actuator and said active substrate, the structure being used to transmit and amplify said vibrations; and comprising at least one trench (Ti) arranged between said actuator and said active substrate. The invention also relates to a method for producing said structure, comprising the use of a temporary substrate.
(FR)L'invention a pour objet une structure mécanique comprenant un empilement comportant un substrat actif (10) et au moins un actionneur (20) adapté pour générer des vibrations au niveau dudit substrat actif, ledit empilement comprenant une structure élémentaire d'amplification desdites vibrations (30) : - disposée entre ledit actionneur et ledit substrat actif, la structure étant adaptée pour transmettre et amplifier lesdites vibrations et; - comprenant au moins une tranchée (Ti), située entre ledit actionneur et ledit substrat actif. L'invention a aussi pour objet un procédé de fabrication de ladite structure comprenant l'utilisation d'un substrat temporaire.
Designated States: US.
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)