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1. (WO2016050460) DIFFRACTION MICROSCOPE METHOD AND DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/050460    International Application No.:    PCT/EP2015/070503
Publication Date: 07.04.2016 International Filing Date: 08.09.2015
IPC:
G01B 9/04 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01)
Applicants: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) [FR/FR]; 3 rue Michel-Ange Paris Cedex 16, 75794 (FR).
UNIVERSITÉ PARIS-SUD [FR/FR]; 15 rue Georges Clemenceau F-91400 Orsay (FR)
Inventors: BON, Pierre; (FR).
FORT, Emmanuel; (FR).
LEVEQUE-FORT, Sandrine; (FR)
Agent: OSHA LIANG SARL; 2 rue de la Paix F-75002 Paris (FR)
Priority Data:
1459500 03.10.2014 FR
Title (EN) DIFFRACTION MICROSCOPE METHOD AND DEVICE
(FR) METHODE ET DISPOSITIF DE MICROSCOPE DIFFRACTIVE
Abstract: front page image
(EN)According to one aspect, the invention relates to a device (100, 200, 300, 400, 500) for measuring the distance, with respect to a reference plane (PREF), of a point of light (Pi) of an object (O). The device comprises a two-dimensional detector (30) comprising a detection plane (PDET) and an imaging system (10) capable of forming an image of a point of light (Pi) situated on an object plane of interest (11) in an image plane (11') arranged close to the detection plane (PDET) or to a conjugate plane (P'DET) of the detection plane. The device further comprises a separator element (20) able to form, from a beam emitted by a point of light of the object plane of interest (11) and emerging from the imaging system (10), at least two mutually coherent beams, having a region of special superposition in which the beams interfere, and signal processing means (50) able to determine, from the interference pattern formed in the detection plane and resulting from the optical interference between said mutually coherent beams, the distance from the point of light to the conjugate plane of the detection plane in the object space of the imaging system (10), said conjugate plane of the detection plane forming the reference plane (PREF).
(FR)Selon un aspect, l'invention concerne un dispositif (100, 200, 300, 400, 500) de mesure de la distance, par rapport à un plan de référence (PREF), d'un point lumineux (Pi) d'un objet (O). Le dispositif comprend un détecteur bidimensionnel (30) comprenant un plan de détection (PDET) et un système d'imagerie (10) adapté à former une image d'un point lumineux (Pi) situé sur un plan objet d'intérêt (11) dans un plan image (11') agencé à proximité du plan de détection (PDET) ou d'un plan (P'DET) conjugué du plan de détection. Le dispositif comprend par ailleurs un élément séparateur (20) permettant de former à partir d'un faisceau émis par un point lumineux du plan objet d'intérêt (11) et émergeant du système d'imagerie (10) au moins deux faisceaux cohérents entre eux, présentant une région de superposition spatiale dans laquelle les faisceaux interfèrent et des moyens de traitement du signal (50) permettant de déterminer à partir de la figure d'interférence formée sur le plan de détection et résultant des interférences optiques entre lesdits faisceaux cohérents entre eux, la distance du point lumineux à un plan conjugué du plan de détection dans l'espace objet du système d'imagerie (10), ledit plan conjugué du plan de détection formant le plan de référence (PREF).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)