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1. (WO2016015739) TUNABLE AMPERE PHASE PLATE FOR CHARGED PARTICLE IMAGING SYSTEMS
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Pub. No.: WO/2016/015739 International Application No.: PCT/EP2014/002080
Publication Date: 04.02.2016 International Filing Date: 30.07.2014
Chapter 2 Demand Filed: 25.05.2016
IPC:
H01J 37/26 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26
Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
Applicants:
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH [DE/DE]; 52425 Jülich, DE
Inventors:
TAVABI, Amir; DE
SAVENKO, Aleksei; DE
POZZI, Giulio; IT
DUNIN-BORKOWSKI, Rafal, Edward; DE
MIGUNOV, Vadim; DE
Priority Data:
Title (EN) TUNABLE AMPERE PHASE PLATE FOR CHARGED PARTICLE IMAGING SYSTEMS
(FR) PLAQUE DE PHASE À AMPÉRAGE RÉGLABLE POUR SYSTÈMES D'IMAGERIE À PARTICULES CHARGÉES
Abstract:
(EN) The invention pertains to a phase shifting device for a charged particle imaging system, where the particles may especially be electrons. The characterizing feature of the phase shifting device according to the invention is that it comprises means to pass an electric current in a direction that has a nonzero component parallel to at least one section of the imaging beam. Preferably, the electric current is passed parallel along the section of the imaging beam. The amount of phase shift then centrosymmetrically depends on the distance between the electric current axis and the imaging beam axis. The inventors have found that the magnetic field produced by the electric current exhibits the same effect on the phase of the beam as the localized charge according to the Balossier et al. prior art. Advantageously, because the relation between the current and the magnetic field is given by Ampere's Law and the effect of the magnetic field on the beam is well understood as the Aharanov-Bohm effect, the amount of phase shift and its distribution in space are fully understood and predictable. This means that the invention provides means to apply a pre-determined, specifically desired phase shift to the beam, which was not possible with previous phase plates.
(FR) L'invention porte sur un dispositif de déphasage destiné à un système d'imagerie à particules chargées, les particules pouvant en particulier être des électrons. La particularité qui caractérise le dispositif de déphasage selon l'invention est qu'il comprend des moyens pour faire circuler un courant électrique dans une direction qui a une composante non nulle parallèle à au moins une section du faisceau d'imagerie. De préférence, le courant électrique est fait circuler parallèlement le long de la section du faisceau d'imagerie. La quantité de déphasage dépend donc d'une manière centrosymétrique de la distance entre l'axe du courant électrique et l'axe du faisceau d'imagerie. Les inventeurs ont découvert que le champ magnétique engendré par le courant électrique présentait le même effet sur la phase du faisceau que la charge localisée selon l'état de la technique de Balossier et coll. Avantageusement, étant donné que la relation entre le courant et le champ magnétique est donnée par la loi d'Ampère et l'effet du champ magnétique sur le faisceau est bien compris comme étant l'effet Aharanov-Bohm, la quantité de déphasage et sa distribution dans l'espace sont bien comprises et prévisibles. Ceci signifie que la présente invention procure des moyens pour appliquer un déphasage prédéterminé, spécifiquement souhaité, au faisceau, ce qui n'était pas possible avec des plaques de phase précédentes.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)