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1. (WO2015185538) DETERMINING QUANTITATIVE THREE-DIMENSIONAL SURFACE TOPOGRAPHY FROM TWO-DIMENSIONAL MICROSCOPY IMAGES
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Pub. No.: WO/2015/185538 International Application No.: PCT/EP2015/062231
Publication Date: 10.12.2015 International Filing Date: 02.06.2015
IPC:
G06T 7/00 (2006.01)
G PHYSICS
06
COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
T
IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
7
Image analysis, e.g. from bit-mapped to non bit-mapped
Applicants:
RIJKSUNIVERSITEIT GRONINGEN [NL/NL]; Broerstraat 5 NL-9712 CP Groningen, NL
Inventors:
MARTÍNEZ MARTÍNEZ, Diego; NL
OCELIK, Vaclav; NL
DE HOSSON, Josephus Theodorus Maria; NL
MANSILLA SANCHEZ, Catalina; NL
FABER, Enne Theodoor; NL
Agent:
JANSEN, C.M.; NL
Priority Data:
14170815.602.06.2014EP
Title (EN) DETERMINING QUANTITATIVE THREE-DIMENSIONAL SURFACE TOPOGRAPHY FROM TWO-DIMENSIONAL MICROSCOPY IMAGES
(FR) DÉTERMINATION DE TOPOGRAPHIE DE SURFACE TRIDIMENSIONNELLE QUANTITATIVE À PARTIR D'IMAGES MICROSCOPIQUES BIDIMENSIONNELLES
Abstract:
(EN) Sets of displacements of corresponding points between a first image and a second and third image are determined. Directional components in two directions of each set of displacements are fitted to two respective fitting planes. From the directional components, the relative displacements, each indicating a difference between the displacement of corresponding points and a calculated displacement of corresponding points on the respective fitting plane are calculated. An orientation of a sample plane for each image and the angle and the axis of rotation of the sample plane is calculated by requiring that for at least two types of physical parameters, the value resulting from the first set of displacements is identical to the value resulting from the second set of displacements. Three-dimensional surface topography data are determined from the calculated orientations and the angle and axis of rotation of the sample plane and the first or second relative displacements.
(FR) La présente invention concerne des ensembles de déplacements de points correspondants entre une première image et une deuxième et une troisième image. Des composantes directionnelles dans deux directions de chaque ensemble de déplacements sont ajustées à deux plans d'ajustement respectifs. À partir des composantes directionnelles, les déplacements relatifs, chacun indiquant une différence entre le déplacement de points correspondants et un déplacement calculé de points correspondants sur le plan d'ajustement respectif sont calculés. Une orientation d'un plan d'échantillon pour chaque image et l'angle et l'axe de rotation du plan d'échantillon est calculée en demandant que, pour au moins deux types de paramètres physiques, la valeur obtenue à partir du premier ensemble de déplacements soit identique à la valeur obtenue à partir du second ensemble de déplacements. Des données de topographie de surface tridimensionnelles sont déterminées à partir des orientations calculées et de l'angle et de l'axe de rotation du plan d'échantillon et du premier ou du second déplacement relatif.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)