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1. WO2015146054 - INFRARED RAY DETECTION ELEMENT AND INFRARED RAY DETECTION DEVICE EQUIPPED THEREWITH

Publication Number WO/2015/146054
Publication Date 01.10.2015
International Application No. PCT/JP2015/001409
International Filing Date 13.03.2015
IPC
G01J 1/02 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1Photometry, e.g. photographic exposure meter
02Details
H01L 37/02 2006.1
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
37Thermoelectric devices without a junction of dissimilar materials; Thermomagnetic devices, e.g. using Nernst-Ettinghausen effect; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
02using thermal change of dielectric constant, e.g. working above and below the Curie point
G01J 5/02 2006.1
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
CPC
G01J 5/10
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
10using electric radiation detectors
G01J 5/34
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
10using electric radiation detectors
34using capacitors ; , e.g. pyroelectric elements
H01L 37/025
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
37Thermoelectric devices without a junction of dissimilar materials; Thermomagnetic devices, e.g. using Nernst-Ettinghausen effect; Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
02using thermal change of dielectric constant, e.g. working above and below Curie point ; , e.g. pyroelectric devices
025Selection of materials
Applicants
  • パナソニックIPマネジメント株式会社 PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD. [JP]/[JP]
Inventors
  • 飯井 良介 MESHII, Ryosuke
  • 野田 俊成 NODA, Toshinari
  • 上口 洋輝 KAMIGUCHI, Hiroki
  • 久保 敬 KUBO, Takashi
  • 指中 伸夫 SASHINAKA, Nobuo
  • 田路 翔一 TAJI, Shoichi
  • 太田 直希 OTA, Naoki
  • 小野寺 直利 ONODERA, Naoto
Agents
  • 鎌田 健司 KAMATA, Kenji
Priority Data
2014-06518027.03.2014JP
Publication Language Japanese (ja)
Filing Language Japanese (JA)
Designated States
Title
(EN) INFRARED RAY DETECTION ELEMENT AND INFRARED RAY DETECTION DEVICE EQUIPPED THEREWITH
(FR) ÉLÉMENT DE DÉTECTION DE RAYONNEMENT INFRAROUGE ET DISPOSITIF DE DÉTECTION DE RAYONNEMENT INFRAROUGE ÉQUIPÉ DE CELUI-CI
(JA) 赤外線検出素子及びこれを備える赤外線検出装置
Abstract
(EN)  This infrared ray detection element (25) is provided with: a substrate (11) having a cavity (13); an infrared ray detection part (20) in which a lower electrode layer (40), a detection layer (16), and an upper electrode layer (50) are stacked in that order; a first support part (30A) and a second support part (30B) for supporting the infrared ray detection part (20) above the cavity (13); and a first outside lead part (60A) and a second outside lead part (60B), for leading a signal out from the infrared ray detection part (20). The first support part (30A) is provided with a first upper line (80A), a first insulating layer (16A), and a first lower line (70A), stacked in that order. The upper electrode layer (50) is connected to the first outside lead part (60A) through the first upper line (80A). The second support part (30B) is provided with a second upper line (80B), a second insulating layer (16B), and a second lower line (70B), stacked in that order. The lower electrode layer (40) is connected to the second outside lead part (60B) through the second lower line (70B).
(FR)  L'invention concerne un élément de détection de rayonnement infrarouge (25) pourvu de : un substrat (11) possédant une cavité (13); une partie détection de rayon infrarouge (20) dans laquelle une couche d'électrode inférieure (40), une couche de détection (16), et une couche d'électrode supérieure (50) sont empilées dans cet ordre; une première partie de support (30A) et une seconde partie de support (30B) pour supporter la partie détection de rayon infrarouge (20) au-dessus de la cavité (13); et une première partie de fil conducteur extérieur (60A) et une seconde partie de fil conducteur extérieur (60B), pour acheminer un signal à l'extérieur de la partie détection de rayon infrarouge (20). La première partie de support (30A) est pourvue d'une première ligne supérieure (80A), d'une première couche isolante (16A), et d'une première ligne inférieure (70A), empilées dans cet ordre. La couche d'électrode supérieure (50) est reliée à la première partie de fil conducteur extérieur (60A) au moyen de la première ligne supérieure (80A). La seconde partie de support (30B) est pourvue d'une seconde ligne supérieure (80B), d'une seconde couche isolante (16B), et d'une seconde ligne inférieure (70B), empilées dans cet ordre. La couche d'électrode inférieure (40) est reliée à la seconde partie de fil conducteur extérieur (60B) au moyen de la seconde ligne inférieure (70B).
(JA)  赤外線検出素子(25)は、空洞(13)を有する基板(11)と、下部電極層(40)と検出層(16)と上部電極層(50)とが順に積層された赤外線検出部(20)と、空洞(13)の上方に赤外線検出部(20)を支持する第1支持部(30A)及び第2支持部(30B)と、赤外線検出部(20)からの電気信号を外部に取り出すための第1外部引出部(60A)及び第2外部引出部(60B)と、を備え、第1支持部(30A)は、順に積層された第1上部配線(80A)と第1絶縁層(16A)と第1下部配線(70A)とを備え、上部電極層(50)は、第1上部配線(80A)を介して第1外部引出部(60A)と接続されており、第2支持部(30B)は、順に積層された第2上部配線(80B)と第2絶縁層(16B)と第2下部配線(70B)とを備え、下部電極層(40)は、第2下部配線(70B)を介して第2外部引出部(60B)と接続されている。
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