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1. (WO2015127467) CERAMIC RING TEST DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/127467    International Application No.:    PCT/US2015/017368
Publication Date: 27.08.2015 International Filing Date: 24.02.2015
IPC:
G01R 31/26 (2014.01), G01R 27/26 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: KOBAYASHI, Satoru; (US).
ZHU, Yufei; (US).
GARG, Saurabh; (US).
PARK, Soonam; (US).
LUBOMIRSKY, Dmitry; (US)
Agent: PORTNOVA, Marina; (US)
Priority Data:
61/943,584 24.02.2014 US
14/628,733 23.02.2015 US
Title (EN) CERAMIC RING TEST DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ESSAI D'ANNEAU CÉRAMIQUE
Abstract: front page image
(EN)A test device for testing an electrical property of a chamber component, such as a ceramic ring, includes an outer conductor and an inner conductor disposed within and electrically isolated from the outer conductor. The outer conductor has a base, a top, and an interior sidewall disposed between the base and the top. The inner conductor has a top portion having a first diameter and a bottom portion having a second diameter, in which the second diameter is greater than the first diameter. A sample area is defined between the base of the outer conductor and the bottom portion of the inner conductor, and is configured to receive a chamber component. The electrical property of the chamber component and wherein an electrical property of the chamber component is measurable based on application of a signal to at least one of the outer conductor or the inner conductor.
(FR)L'invention porte sur un dispositif d'essai pour analyser une propriété électrique d'un élément de chambre, tel qu'un anneau céramique, ledit dispositif comprenant un conducteur externe et un conducteur interne disposé à l'intérieur du conducteur externe et électriquement isolé de celui-ci. Le conducteur externe présente une base, un sommet et une paroi latérale intérieure, disposée entre la base et le sommet. Le conducteur interne présente une partie supérieure ayant un premier diamètre et une partie inférieure ayant un second diamètre, le second diamètre étant supérieur au premier diamètre. Une zone d'échantillon est définie entre la base du conducteur externe et la partie inférieure du conducteur interne, et est configurée de façon à recevoir un élément de chambre. La propriété électrique de l'élément de chambre et, ainsi, une propriété électrique de l'élément de chambre sont mesurables sur la base de l'application d'un signal à au moins l'un du conducteur externe ou du conducteur interne.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)