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1. (WO2015127449) PRECISE PROBE PLACEMENT IN AUTOMATED SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/127449    International Application No.:    PCT/US2015/017319
Publication Date: 27.08.2015 International Filing Date: 24.02.2015
IPC:
G01Q 10/06 (2010.01), G01Q 60/16 (2010.01), G01Q 70/02 (2010.01)
Applicants: BRUKER NANO, INC. [US/US]; 3400 East Britannia Drive, Suite 150 Tucson, AZ 85706 (US)
Inventors: OSBORNE, Jason; (US).
MILLIGAN, Eric; (US).
LOPEZ, Andrew; (US).
WU, Robert; (US).
HAND, Sean; (US).
FONOBEROV, Vladimir; (US)
Agent: HANSEN, Christian; (US)
Priority Data:
61/943,802 24.02.2014 US
Title (EN) PRECISE PROBE PLACEMENT IN AUTOMATED SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEMS
(FR) POSITIONNEMENT PRÉCIS D'UNE SONDE DANS LES SYSTÈMES DE MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE AUTOMATISÉS
Abstract: front page image
(EN)A scanning probe microscope (SPM) system and associated method. The SPM system having a probe adapted to interact with nanoscale features of a sample and scan within a target region to produce a three-dimensional image of that target region, the system maintaining location information for a plurality of features of interest of the sample according to a sample- specific coordinate system, wherein the SPM system is configured to adjust positioning of the probe relative to the sample according to a SPM coordinate system, the SPM system further configured to manage a dynamic relationship between the sample-specific coordinate system and the SPM coordinate system by determining a set of alignment errors between the sample-specific coordinate system and the SPM coordinate system and apply corrections to the SPM coordinate system to offset the determined alignment errors.
(FR)L'invention concerne un système de microscope à sonde à balayage (SPM) et un système associé. Le système SPM comprend une sonde adaptée pour coopérer avec des caractéristiques à l'échelle nanométrique d'un échantillon et effectuer un balayage à l'intérieur d'une zone cible afin de produire une image tridimensionnelle de cette région cible, le système maintenant des informations de localisation pour une pluralité de caractéristiques intéressantes de l'échantillon conformément à un système de coordonnées spécifique à l'échantillon. Le système SPM est configuré pour ajuster le positionnement de la sonde par rapport à l'échantillon conformément à un système de coordonnées de SPM, le système SPM est en outre configuré pour gérer une relation dynamique entre le système de coordonnées spécifique à l'échantillon et le système de coordonnées de SPM en déterminant un ensemble d'erreurs d'alignement entre le système de coordonnées spécifique à l'échantillon et le système de coordonnées de SPM et pour appliquer des corrections au système de coordonnées de SPM afin de compenser les erreurs d'alignement déterminées.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)