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1. (WO2015127191) SYSTEM AND METHOD FOR BI-FACIAL PROCESSING OF SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/127191    International Application No.:    PCT/US2015/016799
Publication Date: 27.08.2015 International Filing Date: 20.02.2015
IPC:
C23C 14/50 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: INTEVAC, INC. [US/US]; 3560 Bassett Street Santa Clara, CA 95054 (US).
BLUCK, Terry; (US).
SHAH, Vinay; (US).
LATCHFORD, Ian; (US).
RIPOSAN, Alexandru; (US)
Inventors: BLUCK, Terry; (US).
SHAH, Vinay; (US).
LATCHFORD, Ian; (US).
RIPOSAN, Alexandru; (US)
Agent: BACH, Joseph; (US)
Priority Data:
61/942,594 20.02.2014 US
61/943,999 24.02.2014 US
Title (EN) SYSTEM AND METHOD FOR BI-FACIAL PROCESSING OF SUBSTRATES
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR LE TRAITEMENT BIFACIAL DE SUBSTRATS
Abstract: front page image
(EN)A system for processing substrates in plasma chambers, such that all substrates transport and loading/unloading operations are performed in atmospheric environment, but processing is performed in vacuum environment. The substrates are transported throughout the system on carriers. The system's chambers are arranged linearly, such that carriers move from one chamber directly to the next. A conveyor, placed above or below the system's chambers, returns the carriers to the system's entry area after processing is completed. The carriers are configured for supporting substrates of different sizes. The carriers are also configured for flipping the substrates such that both surfaces of the substrates may be processed.
(FR)Système de traitement de substrats dans des chambres à plasma, de telle sorte que toutes les opérations de transport et de chargement/déchargement de substrats soient réalisées dans un environnement atmosphérique, mais que le traitement soit effectué dans un environnement sous vide. Les substrats sont transportés dans tout le système sur des supports. Les chambres du système sont agencées de manière linéaire, de telle sorte que les supports passent directement d'une chambre à l'autre. Un transporteur, placé au-dessus ou au-dessous des chambres du système, ramène les supports à la zone d'entrée du système à la fin du traitement. Les supports sont conçus pour supporter des substrats de différentes tailles. Les supports sont également conçus pour retourner les substrats de telle sorte que les deux surfaces des substrats puissent être traitées.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)