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1. (WO2015126819) PLATEN SUPPORT STRUCTURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/126819    International Application No.:    PCT/US2015/016132
Publication Date: 27.08.2015 International Filing Date: 17.02.2015
IPC:
H01L 21/683 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930 (US)
Inventors: FISH, Roger B.; (US).
ANELLA, Steven; (US).
MACEACHERN, Todd Lewis; (US)
Agent: DAISAK, Daniel N.; (US)
Priority Data:
14/186,678 21.02.2014 US
Title (EN) PLATEN SUPPORT STRUCTURE
(FR) STRUCTURE DE SUPPORT DE PLATEAU
Abstract: front page image
(EN)A platen support structure adapted to thermally insulate a heated platen portion from a cold base plate while providing substantially leak-free gas transport therebetween and while allowing thermal expansion and contraction of the platen portion. Various examples provide of the support structure provide a tubular flexure having an internal gas conduit, a platen portion mounting tab connected to the flexure and having an internal gas input slot that is in fluid communication with the internal gas conduit of the flexure, the platen portion mounting tab being adapted for connection to a platen portion of a platen, and a base plate mounting tab connected to the flexure and having an internal gas output slot that is in fluid communication with the internal gas conduit of the flexure, the base plate mounting tab being adapted for connection to a base plate of the platen.
(FR)L'invention concerne une structure de support de plateau conçue pour isoler thermiquement une partie de plateau chauffant relativement à une plaque de base froide tout en assurant un transport de gaz sensiblement sans fuite entre elles et tout en permettant une dilatation et une contraction thermique de la partie de plateau. Divers exemples décrits de la structure de support utilisent un élément flexible tubulaire comportant un conduit de gaz interne, une patte de montage à la partie de plateau raccordée à l'élément flexible et comportant une fente d'entrée de gaz interne qui est en communication fluidique avec le conduit de gaz interne de l'élément flexible, la patte de montage à la partie de plateau étant conçue pour être raccordée à une partie de plateau d'un plateau, et une patte de montage à la plaque de base raccordée à l'élément flexible et comportant une fente de sortie de gaz interne qui est en communication fluidique avec le conduit de gaz interne de l'élément flexible, la patte de montage à la plaque de base étant conçue pour être raccordée à une plaque de base du plateau.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)