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1. (WO2015125756) AIR BEARING DEVICE AND MEASURING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/125756    International Application No.:    PCT/JP2015/054205
Publication Date: 27.08.2015 International Filing Date: 17.02.2015
IPC:
F16C 32/06 (2006.01)
Applicants: OILES CORPORATION [JP/JP]; 6-34, Kounan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1080075 (JP)
Inventors: TSUNODA, Kouichi; (JP)
Agent: KIMIYA, Naoki; (JP)
Priority Data:
2014-028034 18.02.2014 JP
Title (EN) AIR BEARING DEVICE AND MEASURING DEVICE
(FR) DISPOSITIF À PALIER À AIR ET DISPOSITIF DE MESURE
(JA) エアベアリング装置及び測定装置
Abstract: front page image
(EN)The purpose of the invention is to provide an air bearing device that has improved floating precision and thus achieves floating precision that meets the demands of making products thinner and improving the precision of measurements, and a measuring device comprising the air bearing device. The present invention provides an air bearing device and a measuring device comprising the air bearing device, wherein the air bearing device comprises a pad unit that can float by way of a lifting force from the discharge of air, and the pad unit comprises a first pad unit that has a bearing face having a discharge region from which air is discharged and a suction region that applies a suctioning force.
(FR)L'objectif de la présente invention consiste à produire un dispositif à palier à air qui présente une précision de flottement améliorée et permet ainsi d'atteindre une précision de flottement qui répond aux exigences de fabrication de produits plus minces et d'amélioration de la précision de mesures, et un dispositif de mesure comprenant le dispositif à palier à air. La présente invention concerne un dispositif à palier à air et un dispositif de mesure comprenant le dispositif à palier à air, le dispositif à palier à air comprenant une unité de coussinet qui peut flotter au moyen d'une force de levage issue de la sortie d'air, et l'unité de coussinet comprenant une première unité de coussinet qui possède une face de palier ayant une région de sortie de laquelle l'air est sorti, et une région d'aspiration qui applique une force d'aspiration.
(JA)浮上精度を高め、製品のさらなる薄厚化や、測定精度の高精度化の要請に応えうる浮上精度を実現できるエアベアリング装置及び当該エアベアリング装置を備える測定装置を提供することを目的とする。 気体を吐出することによる浮上力により浮上可能なパッド部を備え、前記パッド部は、気体が吐出される吐出領域と、吸引力を付与する吸引領域とを有するベアリング面を有する第1のパッド部を備えるエアベアリング装置及び当該エアベアリング装置を備える測定装置。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)